[实用新型]一种用于电镀设备的阴极滚轮

权利要求书

1.一种用于电镀设备的阴极滚轮，其特征在于：包括滚轮主体，所述滚轮主体的两端连接有滚轮轴，所述滚轮主体的两端设置有用于固定滚轮主体位置的固定座，每个所述滚轮轴与同侧所述固定座旋转连接，任一所述滚轮轴的端部穿出至同侧所述固定座的外侧并套接有传动齿轮，任一所述滚轮轴设置有电极端子；

所述滚轮主体上设置有至少一个绝缘凹槽组，每个绝缘凹槽组包括间隔设置的两个环状凹槽，同一所述绝缘凹槽组内的两个所述环状凹槽的内缘距离小于硅片的宽度，同一所述绝缘凹槽组内的两个所述环状凹槽的外缘距离大于硅片的宽度，每个所述环状凹槽内设置有绝缘填充物。

2.根据权利要求1所述的一种用于电镀设备的阴极滚轮，其特征在于：所述滚轮主体的外表面为平滑表面。

3.根据权利要求1所述的一种用于电镀设备的阴极滚轮，其特征在于：所述滚轮主体的外表面为连续螺纹表面。

4.根据权利要求3所述的一种用于电镀设备的阴极滚轮，其特征在于：所述连续螺纹表面的螺纹槽形状为V型或U型。

5.根据权利要求1所述的一种用于电镀设备的阴极滚轮，其特征在于：所述滚轮主体的外表面为间隔式环状槽表面。

6.根据权利要求5所述的一种用于电镀设备的阴极滚轮，其特征在于：所述间隔式环状槽表面的环状槽形状为矩形或U型。

7.根据权利要求1所述的一种用于电镀设备的阴极滚轮，其特征在于：所述滚轮主体的内部设置为空腔，所述滚轮主体的外表面均布有与所述空腔连通的气孔，所述空腔连接有气体供给装置。

8.根据权利要求1所述的一种用于电镀设备的阴极滚轮，其特征在于：所述滚轮主体的外表面设置有电刷，所述电刷的材质为柔性导电材质。

9.根据权利要求1所述的一种用于电镀设备的阴极滚轮，其特征在于：所述滚轮主体、滚轮轴和传动齿轮一体制成或所述滚轮主体和滚轮轴一体制成并与所述传动齿轮可拆卸连接。

10.根据权利要求1所述的一种用于电镀设备的阴极滚轮，其特征在于：所述滚轮主体的外表面进行喷砂处理；

所述绝缘填充物的材质为PFA、PVDF、PP、PEEK中的任意一种。