[实用新型]一种在自由空间产生完美拉盖尔高斯电子束的实验系统

说明书

本实用新型公开了一种在自由空间产生完美拉盖尔高斯电子束的实验系统，包括透射电镜、扩束器、全息掩模、4f系统和图像传感器；透射电镜发射电子束；数值模拟平面波和完美拉盖尔高斯电子束发生干涉，获得相位全息图嵌入到全息掩模上，用透射电镜发射的电子束经过准直扩束处理，再透过全息掩模，然后根据获取的电子束经过4f系统后光束在自由空间传输，形成一种在自由空间产生完美拉盖尔高斯电子束。本实用新型容易生产、系统简单、易于调整、稳定性好、具有通用用途，同时可通过实验研究完美拉盖尔高斯电子束传播的强度分布和相位分布特性。

技术领域

本实用新型涉及电子束技术领域，具体涉及一种在自由空间产生完美拉盖尔高斯电子束的实验系统。

背景技术

全息重构技术是使一个输入波通过由计算机生成的由一个参考波和一个输出模干涉得到的全息图，此技术可用于重构波动方程。二值振幅调制、相位调制等调制方法被广泛用于设计、生成应用于全息重构技术的相位掩模。但是，二值全息掩模中会产生多个衍射模式，这使得涡旋束难以利用全息掩模产生。在2010年，Verbeeck等人使用一个计算机生成的二值的全息掩模首先在实验室中产生了纯涡旋电子束。

在2013年，N.Voloch-Bloch等人提出了名为“Airy晶格”的新颖晶格，并以此构造了一个二值衍射光栅，进而设计了能够用于产生Airy电子束内部结构的纳米尺度全息图，最终在实验室中实现了Airy电子束的产生。

现有产生完美拉盖尔高斯电子束所需成本较高，不容易生产，且不易于调整，稳定性差。

实用新型内容

有鉴于此，为了解决现有技术中的上述问题，本实用新型提出一种在自由空间产生完美拉盖尔高斯电子束的实验系统，首先将电子束打到制作好的全息掩模上，透过掩模后再经过一系列的傅里叶透镜系统，得到在自由空间传播的完美拉盖尔高斯电子束。

本实用新型通过以下技术手段解决上述问题：

一种在自由空间产生完美拉盖尔高斯电子束的实验系统，包括：

透射电镜，用于发射电子束；

扩束器，设置于透射电镜的出射口处，用于对电子束进行准直扩束处理；

全息掩模，设置在所述电子束的传输路径上；

4f系统，用于接收经全息掩模透射的电子束并进行滤波，获得自由空间传播的完美拉盖尔高斯电子束；

图像传感器，设置于4f系统后，用于收集电子束传播信息，并显示电子束传播图像；该电子束传播信息为完美拉盖尔高斯电子束在无扰动的空气中传输。

进一步地，所述4f系统包括两个磁透镜和一个狭缝；狭缝处于两个磁透镜之间，且到两个磁透镜的距离为各自磁透镜的焦距；其中，第一个磁透镜对电子束进行傅里叶变换，得到频谱面；狭缝用于选取所述频谱面的正一级干涉条纹；第二个磁透镜用于对经狭缝选取后的电子束进行逆傅里叶变化，获得含完美相位因子的完美拉盖尔高斯电子束。

进一步地，所述透射电镜为场发射枪透射电子显微镜。

进一步地，所述透射电镜发射波长为2.5pm的电子束。

进一步地，所述扩束器是倍率为×8的固定倍率的扩束器。

进一步地，将数值模拟平面波与含完美相位因子的完美拉盖尔高斯电子束发生干涉产生全息图，然后用聚焦离子束刻蚀出全息图样的金属或氮化硅薄模，生成全息掩模。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果至少包括：

1、本实用新型所需成本较低，容易生产，系统简单，易于调整，稳定性好，具有通用用途；