[实用新型]一种置设有机械手的曝光机有效
申请号: | 202220066136.2 | 申请日: | 2022-01-11 |
公开(公告)号: | CN217279260U | 公开(公告)日: | 2022-08-23 |
发明(设计)人: | 杨宗金;魏英 | 申请(专利权)人: | 深圳市健航光电科技有限公司 |
主分类号: | G03F7/20 | 分类号: | G03F7/20 |
代理公司: | 深圳市深联知识产权代理事务所(普通合伙) 44357 | 代理人: | 李成龙 |
地址: | 518000 广东省深圳市宝安区*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 设有 机械手 曝光 | ||
本实用新型涉及曝光机技术领域,尤其涉及一种置设有机械手的曝光机,包括机体,所述机体的一侧固定连接有送板组件,所述送板组件背面的顶部固定连接有放料机械手组件,所述机体的另一侧固定连接有出板组件,所述出板组件背面的顶部固定连接有收料机械手组件,所述放料机械手组件包括有驱动结构和吸附结构,所述吸附结构连接在驱动结构上,所述驱动结构用于驱动吸附结构左右移动,所述吸附结构包括有固定块,所述固定块的一侧固定连接有连接块。本实用新型中驱动结构可带动吸附结构左右移动,吸附结构可对基板进行吸附,并可对基板的位置进行移动,便于基板的放板和收板操作,其操作方便,自动化程度高,且提高了工作效率。
技术领域
本实用新型涉及曝光机技术领域,具体为一种置设有机械手的曝光机。
背景技术
曝光机是指通过开启灯光发出UVA波长的紫外线,将胶片或其他透明体上的图像信息转移到涂有感光物质的表面上的机器设备,目前,在曝光机对基板进行曝光显影时,基板的放板和收板多为人工操作,自动化程度底,操作不便,且效率低。
实用新型内容
针对现有技术的不足,本实用新型提供了一种置设有机械手的曝光机,具备便于收放板的优点,解决了目前在曝光机对基板进行曝光显影时,基板的放板和收板多为人工操作,自动化程度底,操作不便,且效率低的问题。
为解决上述的技术问题,本实用新型提供如下技术方案:一种置设有机械手的曝光机,包括机体,所述机体的一侧固定连接有送板组件,所述送板组件背面的顶部固定连接有放料机械手组件,所述机体的另一侧固定连接有出板组件,所述出板组件背面的顶部固定连接有收料机械手组件;
所述放料机械手组件包括有驱动结构和吸附结构,所述吸附结构连接在驱动结构上,所述驱动结构用于驱动吸附结构左右移动;
所述吸附结构包括有固定块,所述固定块的一侧固定连接有连接块,所述连接块的顶部固定连接有支撑板,所述支撑板底部的中部定连接有推动气缸,所述推动气缸活塞杆的底部固定连接有吸盘板。
进一步地,所述吸盘板内部的两侧嵌设有直线轴承,所述支撑板底部的两侧均固定连接有滑杆,所述滑杆滑动连接在直线轴承的内部。
进一步地,所述送板组件的顶部固定连接有第一导轨,所述连接块的底部固定连接有滑块,所述滑块滑动连接在第一导轨的顶部。
进一步地,所述驱动结构包括有方形框,所述方形框内底壁的一侧通过支撑座转动连接有第一传动轮,所述方形框内底壁的另一侧通过支撑座转动连接有第二传动轮,所述第一传动轮通过传动带与第二传动轮传动连接,且固定块固定连接在传动带上。
进一步地,所述方形框的顶部固定连接有减速电机,所述减速电机的输出端固定连接有主动轮,所述第二传动轮上转轴的一端固定套接有从动轮,所述主动轮通过同步带与从动轮传动连接。
进一步地,所述收料机械手组件的结构与放料机械手组件的结构相同,所述出板组件的顶部固定连接有第二导轨,所述收料机械手组件的底部滑动连接在第二导轨的顶部。
借由上述技术方案,本实用新型提供了一种置设有机械手的曝光机,至少具备以下有益效果:
1、该置设有机械手的曝光机,通过放料机械手组件和收料机械手组件的设置,驱动结构可带动吸附结构左右移动,吸附结构可对基板进行吸附,并可对基板的位置进行移动,便于基板的放板和收板操作,其操作方便,自动化程度高,且提高了工作效率。
2、该置设有机械手的曝光机,通过吸附结构的设置,推动气缸可对吸盘板进行移动,可对吸盘板的高度进行调整,便于对不同厚度的基板进行吸附,提高了使用效果。
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