[实用新型]一种置设有机械手的曝光机有效
申请号: | 202220066136.2 | 申请日: | 2022-01-11 |
公开(公告)号: | CN217279260U | 公开(公告)日: | 2022-08-23 |
发明(设计)人: | 杨宗金;魏英 | 申请(专利权)人: | 深圳市健航光电科技有限公司 |
主分类号: | G03F7/20 | 分类号: | G03F7/20 |
代理公司: | 深圳市深联知识产权代理事务所(普通合伙) 44357 | 代理人: | 李成龙 |
地址: | 518000 广东省深圳市宝安区*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 设有 机械手 曝光 | ||
1.一种置设有机械手的曝光机,包括机体(1),其特征在于:所述机体(1)的一侧固定连接有送板组件(2),所述送板组件(2)背面的顶部固定连接有放料机械手组件(3),所述机体(1)的另一侧固定连接有出板组件(5),所述出板组件(5)背面的顶部固定连接有收料机械手组件(6);
所述放料机械手组件(3)包括有驱动结构(31)和吸附结构(32),所述吸附结构(32)连接在驱动结构(31)上,所述驱动结构(31)用于驱动吸附结构(32)左右移动;
所述吸附结构(32)包括有固定块(3201),所述固定块(3201)的一侧固定连接有连接块(3202),所述连接块(3202)的顶部固定连接有支撑板(3203),所述支撑板(3203)底部的中部定连接有推动气缸(3204),所述推动气缸(3204)活塞杆的底部固定连接有吸盘板(3205)。
2.根据权利要求1所述的置设有机械手的曝光机,其特征在于:所述吸盘板(3205)内部的两侧嵌设有直线轴承(3206),所述支撑板(3203)底部的两侧均固定连接有滑杆(3207),所述滑杆(3207)滑动连接在直线轴承(3206)的内部。
3.根据权利要求1所述的置设有机械手的曝光机,其特征在于:所述送板组件(2)的顶部固定连接有第一导轨(4),所述连接块(3202)的底部固定连接有滑块(3208),所述滑块(3208)滑动连接在第一导轨(4)的顶部。
4.根据权利要求1所述的置设有机械手的曝光机,其特征在于:所述驱动结构(31)包括有方形框(3101),所述方形框(3101)内底壁的一侧通过支撑座转动连接有第一传动轮(3102),所述方形框(3101)内底壁的另一侧通过支撑座转动连接有第二传动轮(3103),所述第一传动轮(3102)通过传动带(3104)与第二传动轮(3103)传动连接,且固定块(3201)固定连接在传动带(3104)上。
5.根据权利要求4所述的置设有机械手的曝光机,其特征在于:所述方形框(3101)的顶部固定连接有减速电机(3105),所述减速电机(3105)的输出端固定连接有主动轮(3106),所述第二传动轮(3103)上转轴的一端固定套接有从动轮(3107),所述主动轮(3106)通过同步带(3108)与从动轮(3107)传动连接。
6.根据权利要求1所述的置设有机械手的曝光机,其特征在于:所述收料机械手组件(6)的结构与放料机械手组件(3)的结构相同,所述出板组件(5)的顶部固定连接有第二导轨(7),所述收料机械手组件(6)的底部滑动连接在第二导轨(7)的顶部。
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