[实用新型]一种高产能立式炉

权利要求书

1.一种高产能立式炉，其特征在于，包括炉体(1)、供气系统(2)、真空系统(11)、竖直装载机构(9)及安装于炉体(1)内的工艺管(6)、载具舟(7)、隔热支撑组件(8)；所述炉体(1)为立式炉结构，所述炉体(1)上设置有炉门组件(12)，所述竖直装载机构(9)用来连接炉门组件(12)，用来实现炉门组件(12)中炉门的开启、关闭和密封；所述载具舟(7)置于隔热支撑组件(8)上；所述供气系统(2)用来为炉体(1)内提供设备工艺过程所需要气体；所述真空系统(11)用来为炉体(1)内提供真空气氛；所述载具舟(7)为两组以上，用于放置载片。

2.根据权利要求1所述的高产能立式炉，其特征在于，所述供气系统(2)通过进气管道(3)提供设备工艺过程所需要气体，所述进气管道(3)连通至工艺管(6)的腔体内。

3.根据权利要求2所述的高产能立式炉，其特征在于，所述进气管道(3)设置在炉体(1)顶部的中间区域。

4.根据权利要求2所述的高产能立式炉，其特征在于，所述供气系统(2)与主供气喷淋管(14)与补气喷淋管(13)相连通，所述主供气喷淋管(14)设置于所述炉体(1)的顶部中央区域，所述补气喷淋管(13)为多组并设置于所述炉体(1)的顶部并沿工艺管(6)的四周呈环状布置；所述补气喷淋管(13)上设置有小孔。

5.根据权利要求1-4中任意一项所述的高产能立式炉，其特征在于，所述竖直装载机构(9)包括电机(91)、减速机(92)、移动模组(93)、连接杆(94)及滑块(95)，并通过皮带传动或丝杆机构带动炉门组件(12)沿炉体竖直方向移动，实现炉门组件(12)中炉门的开启、关闭和密封。

6.根据权利要求1-4中任意一项所述的高产能立式炉，其特征在于，所述载具舟(7)包括上底板(71)、下底板(75)及竖向支撑杆(72)，所述载具舟(7)的结构采用上下对称布置形式；所述竖向支撑杆(72)连接上底板(71)和下底板(75)；同侧的两根竖向支撑杆(72)上横向连接有固定块(73)，在所述固定块(73)设置有圆孔，用于连接隔热支撑组件(8)上的定位支撑杆(74)。

7.根据权利要求1-4中任意一项所述的高产能立式炉，其特征在于，所述隔热支撑组件(8)用于阻挡工艺管(6)内热量向炉门扩散，并用于放置并定位载具舟(7)。

8.根据权利要求7所述的高产能立式炉，其特征在于，所述隔热支撑组件(8)包括载具固定板(81)、耐高温支撑杆(82)、隔热板座(83)及隔热板(84)，所述载具固定板(81)用于放置载具舟(7)，且连接定位载具舟(7)。

9.根据权利要求8所述的高产能立式炉，其特征在于，所述隔热板座(83)为圆柱形中央通孔结构，每层设置有环形槽口用于固定隔热板(84)；所述耐高温支撑杆(82)穿过隔热板座(83)的中央通孔，固定在炉门组件(12)的炉门板上。

10.根据权利要求9所述的高产能立式炉，其特征在于，所述隔热板(84)放置固定在隔热板座(83)的每层环形槽口内。