[发明专利]一种薄膜微带电路的蚀刻工艺及设备

权利要求书

1.一种薄膜微带电路的蚀刻工艺及设备，其特征在于：包括L型底座(1)，所述L型底座(1)的顶端一侧设置有配置箱(2)，所述配置箱(2)的内部设置有配比机构，所述L型底座(1)的顶端另一侧设置有加热室(9)和干燥室(10)，所述干燥室(10)的内部设置有冲洗干燥机构；

所述配比机构包括双向电机(6)、三角块(12)和限位条(13)，所述配置箱(2)的内部倾斜设置有两个限位条(13)，两个所述限位条(13)的相对一侧设置有滑槽(37)，所述滑槽(37)的中部顶端设置有摩擦层(38)，所述摩擦层(38)的一端与滑槽(37)的一端相贴合，所述摩擦层(38)靠近滑槽(37)底端的一侧底端固定连接有增压块(39)，所述三角块(12)的底端倾斜设置，且所述限位条(13)的倾斜角度与三角块(12)底端的倾斜角度相同，所述三角块(12)的两侧均倾斜设置有卡接条(40)，所述卡接条(40)的顶端沿相同间隔设置有多个凸起块(41)，所述卡接条(40)的底端设置有阻力层(44)，且多个所述凸起块(41)的底端均固定连接有支撑柱(43)，多个所述支撑柱(43)的底端均延伸至卡接条(40)的内部，所述卡接条(40)与滑槽(37)滑动连接，所述配置箱(2)的顶端沿同一水平直线分别设置有第一配比罐(3)、第二配比罐(4)和第三配比罐(5)，所述第三配比罐(5)远离第二配比罐(4)的一侧设置有双向电机(6)，所述双向电机(6)的底端设置有转动轴(18)，所述转动轴(18)的底端固定连接有转动盘(20)，所述转动盘(20)的侧面转动连接有活动柱(19)，所述活动柱(19)的底端设置有转动圆球(22)，所述转动圆球(22)的侧面固定连接有多个从动圆球(21)，所述第一配比罐(3)的底端固定连接有第一进料管(15)，所述第二配比罐(4)的底端固定连接有第二进料管(16)，所述第二进料管(16)的底端设置在滑槽(37)中部的正上方，所述第三配比罐(5)的底端固定连接有第三进料管(17)，所述第三进料管(17)的中部连接设置有柔性管，所述柔性管的表面设置有弹性块(34)，所述转动轴(18)的表面固定连接有从动盘(32)，所述从动盘(32)的表面设置有连接带(33)，所述连接带(33)的一端与从动盘(32)的表面相连接；

所述冲洗干燥机构包括喷水管道(25)、气流喷头(26)、放置板(27)和输气管(28)，所述干燥室(10)的正面设置有启闭门，所述启闭门的一侧固定连接有放置板(27)，所述放置板(27)的一端与干燥室(10)的内壁相接触，所述放置板(27)的内部沿相同间隔倾斜设置有多个转动叶片(30)，多个所述转动叶片(30)的中部均转动连接有活动轴(31)，所述干燥室(10)的上下两端均设置有多个喷水管道(25)，所述干燥室(10)的外壳内部设置有输气管(28)，所述干燥室(10)的左右两端对称设置有多个气流喷头(26)，所述输气管(28)与多个气流喷头(26)相连通，所述干燥室(10)的底端开设有多个漏水孔(29)，所述L型底座(1)的靠近干燥室(10)的顶端设置有收集室(11)。

2.根据权利要求1所述的一种薄膜微带电路的蚀刻工艺及设备，其特征在于：所述配置箱(2)的顶端一侧设置有延伸板(7)，所述延伸板(7)的顶端设置有两个气缸(8)，所述气缸(8)的底端固定连接有伸缩柱，所述伸缩柱的底端固定连接有柔性绳，所述柔性绳的底端固定连接有放置块(23)，所述放置块(23)的底端固定连接有梯形块(24)，所述梯形块(24)的内部沿相同间隔开设有多个放置孔。

3.根据权利要求2所述的一种薄膜微带电路的蚀刻工艺及设备，其特征在于：所述加热室(9)的中部设置有分隔板，所述分隔板的底端两侧分别固定连接有加热装置(36)，所述加热装置(36)的顶端设置有油浴锅(35)，所述油浴锅(35)的一侧设置有温度传感器，两个油浴锅(35)的顶端均设置有顶盖。

4.根据权利要求3所述的一种薄膜微带电路的蚀刻工艺及设备，其特征在于：所述三角块(12)的顶端开设有放置槽，所述放置槽的四侧均设置有限位块(42)，所述限位块(42)的一侧均设置有弹性组件(45)，所述放置槽的内部设置有烧杯(14)。