[发明专利]一种腔室压力自动调节控制系统

权利要求书

1.一种腔室压力自动调节控制系统，包括工艺腔室(001)、进风过滤装置(002)及排风装置(003)，其特征在于：还包括控制器(1)及压力传感器A(2)；

所述进风过滤装置(002)的出风口与所述工艺腔室(001)的进风口相连通，所述进风过滤装置(002)由所述控制器(1)控制动作、向所述工艺腔室(001)的内部输入气体，所述工艺腔室(001)的排风口通过排风管路(3)与排风装置(003)相连通；

所述压力传感器A(2)用于测量所述工艺腔室(001)内部的气体压力，所述压力传感器A(2)与所述控制器(1)连接、并与所述进风过滤装置(002)共同形成闭环反馈调节系统。

2.根据权利要求1所述的一种腔室压力自动调节控制系统，其特征在于：所述工艺腔室(001)上相对的两侧边缘处各连通有一条检测管路A(4)的一端，其中一条检测管路A(4)的另一端与一个三通接头(5)的第一个接口连通，另一条检测管路A(4)的另一端与同一个三通接头(5)的第二个接口连通，该三通接头(5)的第三个接口连通有检测管路B(6)的一端，所述压力传感器A(2)安装于所述检测管路B(6)的另一端、并通过相连通的所述检测管路B(6)及检测管路A(4)检测所述工艺腔室(001)的内部的气体压力。

3.根据权利要求1所述的一种腔室压力自动调节控制系统，其特征在于：还包括压力传感器B(7)，所述压力传感器B(7)用于测量所述工艺腔室(001)的排风口与所述排风装置(003)之间连通的排风管路(3)中的气体压力，所述压力传感器B(7)与所述控制器(1)连接。

4.根据权利要求3所述的一种腔室压力自动调节控制系统，其特征在于：所述工艺腔室(001)的排风口与所述排风装置(003)之间连通的排风管路(3)连通有检测管路C(8)的一端，所述压力传感器B(7)安装于所述检测管路C(8)的另一端。

5.根据权利要求1所述的一种腔室压力自动调节控制系统，其特征在于：所述控制器(1)采用PLC、并与上位机(9)连接通讯。

6.根据权利要求1所述的一种腔室压力自动调节控制系统，其特征在于：所述工艺腔室(001)的进风口位于该工艺腔室(001)的排风口的上方。