[发明专利]一种LT晶体及其生长方法在审

专利信息
申请号: 202211536160.9 申请日: 2022-12-01
公开(公告)号: CN115852475A 公开(公告)日: 2023-03-28
发明(设计)人: 罗毅;田雪雅;王陆洲 申请(专利权)人: 合肥中科瑞恒新材料科技有限责任公司
主分类号: C30B15/20 分类号: C30B15/20;C30B15/10;C30B29/22
代理公司: 合肥正则元起专利代理事务所(普通合伙) 34160 代理人: 韩立峰
地址: 230000 安徽省合肥市经*** 国省代码: 安徽;34
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摘要:
搜索关键词: 一种 lt 晶体 及其 生长 方法
【说明书】:

发明公开了一种LT晶体及其生长方法,属于晶体生长技术领域,其生长方法为将LiCO3和Ta2O5烘干,混合,800℃保温2h,升温至1300℃保温6‑8h,得到多晶料;将多晶料转移至铂金坩埚中并置入提拉法晶体生长炉中,升温至1690‑1710℃使多晶料完全熔化后再保温1‑2h,得到熔体;按照2‑5℃/min的速率将熔体降温至1651℃±1℃,通过籽晶杆接种籽晶,在3mm/h的提拉速度和5‑10r/min的籽晶杆旋转速度下使晶体提拉生长,再通过缩颈、放肩、等径、收尾、脱离、冷却、退火和极化工序后得到LT晶体;采用铂金坩埚工序更加简单,制备出的LT晶体不会产生Ir包裹体,拥有较好的光学质量。

技术领域

本发明属于晶体生长技术领域,具体涉及一种LT晶体及其生长方法。

背景技术

陶瓷压电材料(PZT)是主要的压电材料,但随着相关设备功率及灵敏度的提升,陶瓷压电材料的压电性能已经无法满足使用需求,晶体压电材料逐步占据更大的市场份额。晶体压电材料一般是指压电单晶体,是指按晶体空间点阵长程有序生长的晶体,这种晶体结构无对称中心,因此具有压电性。

当下晶体压电材料主要有LT和LN两大类。LT晶体不溶于水,具有化学性能稳定高的特点,其居里点高于600℃,不易出现退极化现象,介电损耗低,探测率优值高的优良特性,成为热释电红外探测器应用材料的最佳选择。过抛光的LT晶片广泛用于谐振器、滤波器、换能器等电子通讯器件的制造,尤其以它良好的机电耦合、温度系数等综合性能而被用于制造高频声表面波器件,并应用在手机、对讲机、卫星通讯、航空航天等许多高端通讯领域。

LT晶体以其优良的材料属性,广泛应用于通信领域。由于LT晶体的熔点在1650℃左右,一般利用铱金(I r)坩埚作为其生长的器皿,但是I r坩埚在高温下容易氧化,所以需要在N2的保护下进行使用。在I r坩埚中生长的LT原生晶体呈淡黄色,在空气中放置一段时间后颜色会更深,退火之后则为淡绿色,这是晶体在N2氛围中缺氧生长出现色心缺陷所致,在空气中退火可以消除这类缺陷,同时也能减少晶体中的残余应力。利用I r坩埚生长LT晶体比较安全,但是LT晶体中容易形成I r包裹体,光学质量比较差,为了提高LT晶体的光学质量,因此提出一种LT晶体及其生长方法。

发明内容

本发明的目的在于提供一种LT晶体及其生长方法,以解决背景技术中的问题。

本发明的目的可以通过以下技术方案实现:

一种LT晶体的生长方法,包括如下步骤:

步骤一:将LiCO3和Ta2O5在120℃的条件下烘干,然后转移至球磨机中,在100-150r/min的条件下球磨4-5h,将充分混合后的原料转移至铂金坩埚中,利用高温烧结炉在室温下按照80-100℃/min的速率升温至800℃,保温2h,然后按照100-150℃/min的速率升温至1300℃,保温6-8h,得到多晶料;

步骤二:将多晶料转移至铂金坩埚中并置入提拉法晶体生长炉中,利用中频感应加热的方式并按照100-150℃/min的速率升温至1690-1710℃,多晶料完全熔化后保温1-2h,得到熔体;

步骤三:然后按照2-5℃/min的速率将熔体降温至1651℃±1℃,通过籽晶杆下入籽晶,使籽晶端部微熔将籽晶接种在熔体表面,然后在3mm/h的提拉速度和5-10r/min的籽晶杆旋转速度下,使晶体提拉生长,再通过缩颈、放肩、等径、收尾、脱离、冷却、退火和极化工序后得到LT晶体。

进一步地,退火的条件为:1325±25℃,保温4-6h。

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