[发明专利]产品缺陷检测方法

权利要求书

1.一种产品缺陷检测方法，其特征在于，包括：

数据采集步骤：通过检测装置采集缺陷数据，并传输至上位机；

数据处理步骤：通过上位机对所述缺陷数据进行分析和处理；

结果呈现步骤：将数据处理步骤中得到的处理数据传输至用户展示平台，呈现最终分析结果；

所述检测装置包括：显示屏（1）、准直透镜（2）、分束片（3）、参考平面镜（4）、供参考平面镜放置的第一旋转镜架（5）、被测物体（7）、供被测物体放置的第二旋转镜架（8）、CCD相机（9）、供CCD相机放置的三维平移台（10）和计算机（11）；

所述显示屏（1）和CCD相机（9）的输出端与所述计算机（11）的输入端连接；

所述显示屏（1）用于显示所述计算机（11）编码生成的涡旋条纹光束，该涡旋条纹光束经所述准直透镜（2）准直后的涡旋条纹光束作为光源，该光源到达所述分束片（3）；其中，透射光束作为参考光束，反射光束作为物光束；

所述参考光束到达固定在所述的第一旋转镜架（5）上的参考平面镜（4）后，返回并再次通过所述分束片（3），该分束片（3）将部分参考光束反射进入所述CCD相机（9），通过移动所述三维平移台（10），使所述CCD相机（9）上出现所述参考平面镜（4）的参考强度图，并将该参考强度图传输至所述计算机（11）；

所述物光束经过固定在第二旋转镜架（8）上的被测物体（7）后，经所述被测物体（7）反射后透过所述分束片（3）后到达所述CCD相机（9），通过移动所述三维平移台（10），使所述CCD相机（9）上出现所述被测物体（7）的信号强度图，并将该信号强度图传输至所述计算机（11）；

所述显示屏（1）显示的涡旋条纹结构光束为标准水平涡旋条纹光束和垂直涡旋条纹光束形成的复合条纹光束，通过旋转所述第一旋转镜架（5）和第二旋转镜架（8），使所述参考平面镜（4）和被测物体（7）得到不同相移量的涡旋复合条纹光束，利用记录的参考强度图和信号强度图，通过多步相移算法、傅里叶积分算法在内的相关算法实现所述被测物体（7）的波前重建。

2.根据权利要求1所述的产品缺陷检测方法，其特征在于，所述检测装置还包括：光隔离器（6）；

所述参考平面镜（4），用于初始背景信号的采集，采集完该初始背景信号后，需要将所述光隔离器（6）固定在所述参考光束中，用于阻挡该参考光束的反射光束进入所述CCD相机（9）。

3.根据权利要求1所述的产品缺陷检测方法，其特征在于，所述显示屏（1）与参考平面镜（4）的间距等于所述显示屏（1）与被测物体（7）的间距，且所述CCD相机（9）与参考平面镜（4）的间距等于所述CCD相机（9）与被测物体（7）的间距。

4.根据权利要求1所述的产品缺陷检测方法，其特征在于，所述被测物体（7）包括反射式被测物体及透射式被测物体和标准平面镜的组合物体。