[发明专利]处理基板的设备和方法

权利要求书

1.一种用于处理基板的设备，所述设备包括：

转位模块；以及

处理模块，所述处理模块邻近所述转位模块设置并处理基板，

其中所述处理模块包括：

一个或多个处理室；

传送室，所述传送室设置有用于将基板传送到所述处理室的主传送机器人；以及

清洁单元，所述清洁单元用于清洁所述主传送机器人的手。

2.根据权利要求1所述的设备，其中所述清洁单元包括：

壳体；以及

清洁构件，所述清洁构件设置在所述壳体中并且清洁所述主传送机器人的装载到所述壳体中的所述手。

3.根据权利要求2所述的设备，其中所述清洁构件包括吹扫喷嘴，所述吹扫喷嘴用于将吹扫气体排放到所述主传送机器人的装载到所述壳体中的所述手的上表面。

4.根据权利要求3所述的设备，其中所述清洁单元还包括设置于所述壳体中吹扫喷嘴下方的液体接收板。

5.根据权利要求4所述的设备，其中所述清洁单元还包括用于使所述壳体内部排气的排气构件，并且

当从顶部看时，所述排气构件在低于所述液体接收板的位置处联接到所述壳体，以与所述液体接收板重叠。

6.根据权利要求2至5中任一项所述的设备，其中所述吹扫喷嘴具有用于在向下方向上排放所述吹扫气体的多个排放端口，并且

所述主传送机器人的所述手包括：

底板；以及

引导件，在所述引导件上放置所述基板，并且所述引导件设置成在向上方向上从所述底板突出，并且

当所述主传送机器人的所述手通过前后移动装载到所述壳体中和从所述壳5体卸载时，当从顶部看时，所述吹扫喷嘴的纵向方向设置在与所述手的前后移动方向垂直的方向上。

7.根据权利要求6所述的设备，其中所述底板包括：

主体；以及

一对指状物，所述一对指状物从所述主体延伸，

0所述引导件包括：

第一引导件，所述第一引导件安装在所述一对指状物中每一个的前端处；以及

第二引导件，所述第二引导件安装在所述一对指状物中每一个的后端处；并且

5所述排放端口包括多个第一孔，在所述主传送机器人的所述手装载到所述壳体中的状态下，当从上方看时，所述多个第一孔设置在与所述指状物相对的第一区域中。

8.根据权利要求7所述的设备，其中所述排放端口还包括多个第二孔，在

所述主传送机器人的所述手装载到所述壳体中的状态下，当从上方看时，所述0多个第二孔设置在与所述指状物之间的空间相对的第二区域中，并且

所述第一区域中的所述第一孔形成的密度高于所述第二区域中的所述第二孔。

9.根据权利要求6所述的设备，其中所述清洁构件还包括辅助喷嘴，所述辅助喷嘴设置有用于排放吹扫气体的多个排放端口，并且

5所述辅助喷嘴的纵向方向设置在垂直方向上。

10.根据权利要求2所述的设备，其中所述清洁构件包括抽吸构件，所述抽吸构件用于从所述主传送机器人的所述手上吸取异物或水分。

11.根据权利要求2所述的设备，其中所述清洁构件包括刷子，所述刷子用于从所述主传送机器人的所述手擦除异物或水分。

12.根据权利要求2所述的设备，其中所述清洁构件包括：

抽吸构件，所述抽吸构件用于从所述主传送机器人的所述手吸取异物或水分；以及

吹扫喷嘴，所述吹扫喷嘴用于向所述主传送机器人的所述手喷射吹扫气体，并且

在所述抽吸构件和所述吹扫喷嘴相对于所述手在水平方向上移动时，所述抽吸构件从所述主传送机器人的所述手吸取异物或水分，然后所述吹扫喷嘴向所述主传送机器人的所述手喷射吹扫气体。