[发明专利]液态化学品喷射组件及包括其的基板处理装置

权利要求书

1.一种液态化学品喷射组件，能够将液态化学品喷射到沿水平方向传送的基板上，所述液态化学品喷射组件包括：

第一喷嘴，布置在相对于所述基板的传送方向的上游；以及

第二喷嘴，布置在相对于所述基板的传送方向的下游，

其中，所述第一喷嘴和所述第二喷嘴彼此面对，并且所述第一喷嘴和所述第二喷嘴各自以相对于所述基板的传送方向具有相同的绝对值的倾斜角倾斜。

2.根据权利要求1所述的液态化学品喷射组件，其中，所述第一喷嘴相对于所述基板的传送方向具有在15°至60°的范围内的第一倾斜角，以及所述第二喷嘴相对于所述基板的传送方向具有在-15°至-60°的范围内的第二倾斜角。

3.根据权利要求1所述的液态化学品喷射组件，其中，所述第一喷嘴和所述第二喷嘴将所述液态化学品喷射到所述基板的一个区域上。

4.根据权利要求1所述的液态化学品喷射组件，其中，所述第一喷嘴和所述第二喷嘴分别将所述液态化学品喷射到所述基板的相邻的区域上。

5.根据权利要求1所述的液态化学品喷射组件，还包括：

一个液态化学品供应构件，用于将所述液态化学品供应到所述第一喷嘴和所述第二喷嘴两者；

供应管线，连接到所述一个液态化学品供应构件；以及

两个分支管线，分别将所述供应管线连接到所述第一喷嘴和所述第二喷嘴。

6.根据权利要求1所述的液态化学品喷射组件，其中，所述第一喷嘴和所述第二喷嘴各自在4MPa至15MPa的压力下将所述液态化学品喷射到所述基板上。

7.根据权利要求6所述的液态化学品喷射组件，还包括：

固定构件，在所述第一喷嘴和所述第二喷嘴将所述液态化学品喷射到所述基板上时，所述固定构件固定所述第一喷嘴的倾斜角和所述第二喷嘴的倾斜角。

8.一种基板处理装置，用于将液态化学品喷射到基板上，所述基板处理装置包括：

工艺腔室，提供用于执行喷射所述液态化学品的工艺的处理空间；

传送构件，用于在所述工艺腔室内传送所述基板；以及

液态化学品喷射组件，将所述液态化学品喷射到通过所述传送构件沿水平方向被传送的所述基板上，

其中，所述液态化学品喷射组件包括：

第一喷嘴，布置在相对于所述基板的传送方向的上游；以及

第二喷嘴，布置在相对于所述基板的传送方向的下游，

其中，所述第一喷嘴和所述第二喷嘴彼此面对，并且所述第一喷嘴和所述第二喷嘴各自以相对于所述基板的传送方向具有相同的绝对值的倾斜角倾斜。

9.根据权利要求8所述的基板处理装置，其中，所述第一喷嘴相对于所述基板的传送方向具有在15°至60°的范围内的第一倾斜角，以及所述第二喷嘴相对于所述基板的传送方向具有在-15°至-60°的范围内的第二倾斜角。

10.根据权利要求8所述的基板处理装置，其中，所述第一喷嘴和所述第二喷嘴将所述液态化学品喷射到所述基板的一个区域上。

11.根据权利要求10所述的基板处理装置，其中，所述传送构件包括：

上辊，接触所述基板的上表面；以及

下辊，接触所述基板的下表面，

其中，所述上辊接触除了所述基板的所述一个区域之外的所述基板的上表面，以及所述下辊接触包括所述基板的与所述一个区域中的下表面在内的、所述基板的下表面。

12.根据权利要求8所述的基板处理装置，其中，所述第一喷嘴和所述第二喷嘴分别将所述液态化学品喷射到所述基板的相邻的区域上。