[发明专利]一种稀土掺杂X-IGZO靶材及其制备方法

权利要求书

1.一种稀土掺杂X-IGZO靶材，其特征在于，所述X-IGZO靶材的粉体成分包括稀土氧化物粉末、氧化铟、氧化镓、氧化锌粉末，所述的稀土氧化物粉末为氧化镧、氧化镨、氧化钕任何之一或者其中两种混合物，所述稀土氧化物粉末的质量含量为总质量1％-3％；所述氧化镓质量含量为总质量15％，所述氧化锌质量含量为总质量20％，余量为氧化铟。

2.根据权利要求1所述稀土掺杂X-IGZO靶材，其特征在于，所述稀土氧化物为所述的氧化镧、氧化镨、氧化钕中任意两种，两组分的含量相同。

3.根据权利要求2所述稀土掺杂X-IGZO靶材，其特征在于，所述稀土氧化物为氧化镨、氧化镧两种，氧化镨质量含量为总质量的1.5％，氧化镧质量含量为总质量的1.5％。

4.根据权利要求1所述稀土掺杂X-IGZO靶材，其特征在于，所述稀土氧化物为氧化镨一种，氧化镨质量含量为总质量的2％。

5.根据权利要求1所述稀土掺杂X-IGZO靶材，其特征在于，所述X-IGZO靶材的粉体的D50＝50-60um，松装密度1.4-1.5g/cm³。

6.一种稀土掺杂X-IGZO靶材的制备方法，其特征在于，按照权利要求1-4任何之一的成分，按照以下几个步骤来制备靶材：

(1)预混：将稀土氧化物粉末、氧化铟、氧化镓、氧化锌粉末按照所述组分配好，加水进行预混；

(2)粗磨：将预混料粗磨，形成浆料；

(3)精磨：将浆料进行砂磨；

(4)过筛：过筛目数200-400目；

(5)配胶：加入一定量的粘结剂和消泡剂；

(6)造粒：喷雾造粒，制备X-IGZO粉体；

(7)冷等静压：将造粒好的X-IGZO粉末装入模具中进行等静压成型；

(8)常压氧气气氛高温烧结制得稀土掺杂X-IGZO靶材。

7.根据权利要求6稀土掺杂X-IGZO靶材的制备方法，其特征在于，所述精磨分为两级，第一级精磨锆珠直径1-1.2mm，第二级精磨锆珠直径1-1.2mm。

8.根据权利要求6稀土掺杂X-IGZO靶材的制备方法，其特征在于，烧结温度1300-1400度，保温时间20-30小时。