[发明专利]卧式热处理炉、热处理方法及硅晶圆的制造方法

权利要求书

1.一种卧式热处理炉，前述卧式热处理炉具备炉芯管、加热器、门、晶圆舟、叉，

前述炉芯管在一端具有开口部，

前述加热器将前述炉芯管包围，

前述门将前述炉芯管的开口部开放及关闭，

前述晶圆舟配置于前述炉芯管的内部，搭载立起状态的晶圆，

前述叉在前述炉芯管的内部从前述门沿水平方向延伸，支承前述晶圆舟，

前述卧式热处理炉的特征在于，

前述叉具有支承前述晶圆舟的框部、被前述框部围绕的空间部。

2.如权利要求1所述的卧式热处理炉，其特征在于，

还具备支柱部和升降机构，

前述支柱部被在前述叉的末端部和前述炉芯管的内表面之间设置，沿垂直方向延伸，

前述升降机构设置于前述门，使前述叉升降。

3.如权利要求2所述的卧式热处理炉，其特征在于，

前述支柱部与前述叉的末端部一体地形成。

4.如权利要求1至3中任一项所述的卧式热处理炉，其特征在于，

借助前述叉支承着前述晶圆舟的情况下的、前述空间部相对于前述晶圆舟的设置面积的面积比例为60%~85%。

5.如权利要求1至3中任一项所述的卧式热处理炉，其特征在于，

前述叉具备桥接部和多个空间部，

前述多个空间部沿铅垂方向观察的情况的形状为长方形或正方形，

前述桥接部形成于前述多个空间部之间。

6.如权利要求5所述的卧式热处理炉，其特征在于，

借助前述叉支承着前述晶圆舟的情况下，前述空间部位于在前述晶圆舟处搭载的晶圆的下方，前述桥接部位于不存在前述晶圆的区域的下方。

7.如权利要求1至3中任一项所述的卧式热处理炉，其特征在于，

前述叉具有桥接部和多个空间部，

前述多个空间部沿铅垂方向观察的情况的形状为三角形，

前述桥接部形成于前述多个空间部之间。

8.一种热处理方法，其特征在于，

将晶圆以立起状态搭载于晶圆舟，

将前述晶圆舟在借助叉支承着的状态下在卧式热处理炉的炉芯管的内部配置，前述叉具有支承该晶圆舟的框部、被前述框部围绕的空间部，

在该状态下加热前述晶圆。

9.权利要求8所述的热处理方法，其特征在于，

前述卧式热处理炉还具备支柱部和升降机构，

前述支柱部被在前述叉的末端部和前述炉芯管的内表面之间设置，沿垂直方向延伸，

前述升降机构设置于将前述炉芯管开闭的门，使前述叉升降，

在借助前述升降机构使前述叉上升的状态下将支承着前述晶圆舟的前述叉投入前述炉芯管的内部，

将前述炉芯管关闭后，借助前述升降机构使前述叉下降，在使该叉的末端部、前述支柱部、前述炉芯管接触的状态下将前述晶圆加热。

10.权利要求9所述的热处理方法，其特征在于，

前述支柱部被在前述叉的末端部一体地形成，

将前述炉芯管关闭后，借助前述升降机构使前述叉下降，在使该叉的末端部和前述炉芯管接触的状态下将前述晶圆加热。

11.如权利要求8至10中任一项所述的热处理方法，其特征在于，

借助前述叉支承着前述晶圆舟的情况下的、前述空间部相对于前述晶圆舟的设置面积的面积比例为60%~85%。

12.如权利要求8至10中任一项所述的热处理方法，其特征在于，

前述叉具备桥接部和多个空间部，

前述多个空间部沿铅垂方向观察的情况的形状为长方形或正方形，

前述桥接部形成于前述多个空间部之间。