[发明专利]双面垫调节器

权利要求书

1.一种化学机械平坦化CMP垫调节器组合件，其包括：

背板，所述背板包括：

第一面及第二面，其中所述第一面包含多个第一安装位置且其中所述第二面包含多个第二安装位置，

多个段，其在所述多个第一安装位置处固定到所述第一面，其中所述多个段中的每一者包括：

衬底，其具有第一表面及第二表面，其中所述第一表面与所述第二表面相对；及

多个突起，其与所述衬底一体化以远离所述第一表面突出，其中所述多个突起涂覆有保形金刚石层，及

多个第二段，其在所述多个第二安装位置处固定到所述第二面，其中所述多个第二段中的每一者包含：

衬底，其具有第一表面及第二表面，其中所述第一表面与所述第二表面相对；

多个突起，其与所述衬底一体化以与远离所述第一表面突出，其中所述多个突起涂覆有保形金刚石层。

2.一种化学机械平坦化CMP垫调节器组合件，其包括：

背板，所述背板包括：

第一面及第二面；

多个安装位置；

井，其在所述多个安装位置中的每一者中且凹入到所述背板中；及

多个段，其在所述多个安装位置处固定到所述背板，其中所述多个段中的每一者包括：

衬底，其具有第一表面及第二表面，其中所述第一表面与所述第二表面相对；

多个突起，其与所述衬底一体化且远离所述第一表面突出；其中所述多个突起涂覆有保形金刚石层；及

第二多个突起，其与所述第二表面一体化且远离所述第二表面突出，其中所述第二多个突起涂覆有保形金刚石层；

其中所述多个安装位置中的每一者中的所述井具有比在所述多个安装位置处固定到所述背板的所述多个段更小的表面积。

3.根据权利要求1或2所述的组合件，其中所述背板包括不锈钢。

4.根据权利要求1或2所述的组合件，其中所述背板包括聚合物。

5.根据权利要求4所述的组合件，其中所述背板由增材制造工艺制成。

6.根据权利要求1所述的组合件，其中所述第一多个安装位置或所述第二多个安装位置中的一或多者凹入到所述背板中且包括凹入到所述背板中的井。

7.根据权利要求2所述的组合件，其中所述多个安装位置是所述背板中的孔。

8.一种方法，其包括：

获得背板，其中所述背板包括：

第一面及第二面，其中所述第一面包含多个第一安装位置且其中所述第二面包含多个第二安装位置；

获得多个段，其中所述多个段包括：

衬底，其具有第一表面及第二表面，其中所述第一表面与所述第二表面相对；

多个突起，其与所述衬底一体化以远离所述第一表面突出，其中所述多个突起涂覆有保形金刚石层；

将所述多个段的第一子集固定到所述多个第一安装位置；及

将所述多个段的第二子集固定到所述多个第二安装位置。

9.根据权利要求8所述的方法，其中固定所述多个段的所述第一子集包含：

使所述多个段的所述第一子集对准安装导件；

将粘合剂施加到所述多个段的所述第一子集的所述第二表面；及

将力施加到所述背板的所述第二面。

10.根据权利要求8所述的方法，其中所述固定所述多个段的所述第二子集在将所述多个段的所述第一子集固定到所述多个第一安装位置之后完成。