[发明专利]晶圆对准方法及对准装置

权利要求书

1.一种晶圆对准方法，其特征在于，包括：

使承载有第一晶圆的第一载片机构与承载有第二晶圆的第二载片机构处于彼此相对的对准位；

利用红外识别透过所述第一载片机构的载片盘识别所述第一晶圆上的第一标记，确定所述第一标记在目标坐标系中的坐标；

利用红外识别透过所述第一载片机构的载片盘以及所述第一晶圆，识别所述第二晶圆上的第二标记，确定所述第二标记在目标坐标系中的坐标；

根据由所述第一标记与所述第二标记的坐标所确定的第一位置偏差数据，移动所述第一载片机构和/或所述第二载片机构，以使所述第一标记与所述第二标记对准。

2.根据权利要求1所述的晶圆对准方法，其特征在于，透过所述第一载片机构的载片盘识别所述第一晶圆上的第一标记之前，还包括：

识别所述第一载片机构与所述第二载片机构所在的基座上的目标标记，构建所述目标坐标系。

3.根据权利要求1所述的晶圆对准方法，其特征在于，透过所述第一载片机构的载片盘识别所述第一晶圆上的第一标记之前，还包括：

移动所述第二载片机构，以使所述第二载片机构朝靠近所述第一载片机构的方向移动至识别范围内。

4.根据权利要求1所述的晶圆对准方法，其特征在于，移动所述第一载片机构和/或所述第二载片机构，以使所述第一标记与所述第二标记对准之后，还包括：

重新识别所述第一标记与所述第二标记，确定移动后的所述第一标记与所述第二标记在所述目标坐标系中的坐标；

根据移动后的所述第一标记与所述第二标记的坐标，判断所述第一标记与所述第二标记是否对准。

5.根据权利要求4所述的晶圆对准方法，其特征在于，根据移动后的所述第一标记与所述第二标记的坐标，判断所述第一标记与所述第二标记是否对准，包括：

若移动后的所述第一标记与所述第二标记的坐标一致或二者的坐标偏差处于误差范围内，则判断为所述第一标记与所述第二标记对准。

6.根据权利要求4所述的晶圆对准方法，其特征在于，还包括：

若判断所述第一标记与所述第二标记未对准，则根据二者移动后的坐标确定第二位置偏差数据；

根据所述第二位置偏差数据，移动所述第一载片机构和/或所述第二载片机构，以使所述第一标记与所述第二标记对准。

7.根据权利要求1至6任一项所述的晶圆对准方法，其特征在于，还包括：

根据所述第一标记和/或所述第二标记的原坐标与其移动后的坐标，确定实际移动数据；

将所述实际移动数据与根据所述第一位置偏差数据所确定的理论移动数据进行比对，确定所述第一载片机构和/或所述第二载片机构的移动误差数据；

根据移动误差数据修正移动调节参数，重新移动所述第一载片机构和/或所述第二载片机构，以使所述第一标记与所述第二标记对准。

8.一种晶圆对准装置，其特征在于，包括：

基座；

载片单元，其设置在所述基座上，所述载片单元包括相对设置的第一载片机构与第二载片机构；

红外识别机构，其设置在所述第一载片机构的远离所述第二载片机构的一侧，所述红外识别机构具有朝向所述第一载片机构的识别端；

对准调节机构，其设置在所述基座上，所述对准调节机构连接所述第一载片机构和/或所述第二载片机构并能够驱动相应的所述载片机构移动。

9.根据权利要求8所述的晶圆对准装置，其特征在于，所述红外识别机构设置在识别调节机构上，所述识别调节机构活动地设置于所述基座上，其能够带动所述红外识别机构在目标平面内移动，所述目标平面平行于加载在所述载片机构上的晶圆所在的平面。

10.根据权利要求9所述的晶圆对准装置，其特征在于，所述识别调节机构包括架设在所述基座顶部的机构主体，所述机构主体的两端分别与设置在基座顶部的导轨滑动配合。