[发明专利]一种晶圆键合机

权利要求书

1.一种晶圆键合机，包括上吊架、下底座以及辅助托架，其特征在于，所述上吊架连接在推压伸缩杆(1)的下端，所述上吊架和下底座中分别安装有辅助托架，所述辅助托架包括有调控伸缩杆一(2)，所述调控伸缩杆一(2)固定在上吊架的中部，所述调控伸缩杆一(2)的下端固定有中心顶座(3)，所述中心顶座(3)的侧面固定安装有均匀分布的钢板条(4)，所述钢板条(4)上开设有安装孔(41)，所述安装孔(41)中安装有吸盘(5)，所述调控伸缩杆一(2)的周围还均匀分布有调控伸缩杆二(6)，所述调控伸缩杆二(6)的上下端分别铰接在上吊架、钢板条(4)的外端头处，且下方所述辅助托架的顶部外侧还布设有卡环(8)，所述卡环(8)固定安装在下底座上。

2.根据权利要求1所述的一种晶圆键合机，其特征在于，所述中心顶座(3)的下端安装有可转动的外凸起的凸起顶球(31)。

3.根据权利要求1所述的一种晶圆键合机，其特征在于，还包括有固定环座(9)，所述固定环座(9)分别固定在上吊架、下底座的侧端处，所述固定环座(9)上安装激光测距仪(10)，上下方面向的所述固定环座(9)上的激光测距仪(10)错位设置，且上方所述激光测距仪(10)的照射线与上方所述固定环座(9)的下端面相平齐，下方所述激光测距仪(10)的照射线与下方所述固定环座(9)的上端面相平齐。

4.根据权利要求1所述的一种晶圆键合机，其特征在于，所述中心顶座(3)上还安装有均匀分布的横向导轨(15)，所述横向导轨(15)上连接有平移座(16)，所述平移座(16)下端固定有竖向的顶压伸缩杆(17)，所述顶压伸缩杆(17)的下端铰接有压轮(19)，所述压轮(19)贴合在凹型轨垫(13)中，所述凹型轨垫(13)贴附在钢板条(4)的上端面。

5.根据权利要求4所述的一种晶圆键合机，其特征在于，所述压轮(19)的外轮面设有铁片(18)，所述凹型轨垫(13)中铺设有磁性条垫(14)，所述铁片(18)与磁性条垫(14)磁吸相连。

6.根据权利要求1所述的一种晶圆键合机，其特征在于，所述安装孔(41)沿钢板条(4)方向等距设置多组，位于相邻所述安装孔(41)之间的钢板条(4)的下端面开设有割缝(42)。

7.根据权利要求1所述的一种晶圆键合机，其特征在于，所述吸盘(5)中心处还安装可伸缩滑动的顶杆(11)，所述顶杆(11)通过复位弹簧二(12)与吸盘(5)内壁相连接。

8.根据权利要求1所述的一种晶圆键合机，其特征在于，所述钢板条(4)的外端部还通过复位弹簧一(7)与上吊架相连接。