[发明专利]一种缺陷检测系统及缺陷检测方法

说明书

本发明公开了一种缺陷检测系统及缺陷检测方法，包括光线输出模块、光线调节模块、探测模块和处理控制模块；光线输出模块用于输出探测光束；光线调节模块位于探测光束的传输路径上，用于调节探测光束入射至待探测物，待探测物反射探测光束形成成像光束，成像光束携带探测物的缺陷信息；探测模块位于成像光束的传播路径上，形成探测图像；处理控制模块与探测模块连接，用于根据探测图像确定待探测物的缺陷信息；处理控制模块还与光线调节模块连接，用于根据探测需求选择照明模式，照明模式包括明场照明模式、暗场照明模式以及眀场暗场混合照明模式。处理控制模块通过对光线调节模块的调节，实现探测光束完成不同的照明模式，满足更多样化的需求。

技术领域

本发明涉及检测技术领域，尤其涉及一种缺陷检测系统及缺陷检测方法。

背景技术

随着工业自动化、智能化的深入及普及，使用自动光学检测设备(Auto OpticalInspection,AOI)替代传统的人工目检，已成为技术发展趋势。AOI设备凭借其快速、精确的缺陷识别定位能力，在汽车、医药、交通、半导体等领域广泛使用。

为适应不同工艺需求，当前部分AOI检测设备会同时配置明场照明和暗场照明。明场为AOI检测设备的常规检测方法，适用于大多数的缺陷，且明场图片更符合人眼观看习惯。暗场比明场的检测分辨率更高，可以检测很多微小的缺陷，例如划痕、灰尘等。但现有技术中为追求更高的检测效率，导致检测系统器件较多成本较高。

发明内容

本发明实施例提供了一种缺陷检测系统及缺陷检测方法，通过处理控制模块通过对光线调节模块的调节，实现探测光束完成不同的照明模式，满足更多样化的需求。

第一方面，本发明实施例提供的一种缺陷检测系统，包括光线输出模块、光线调节模块、探测模块和处理控制模块；

所述光线输出模块用于输出探测光束；

所述光线调节模块位于所述探测光束的传输路径上，用于调节所述探测光束入射至待探测物，所述待探测物反射所述探测光束形成成像光束，所述成像光束携带所述探测物的缺陷信息；

所述探测模块位于所述成像光束的传播路径上，用于根据所述成像光束成像，形成探测图像；

所述处理控制模块与所述探测模块连接，用于根据所述探测图像确定所述待探测物的缺陷信息；

所述处理控制模块还与所述光线调节模块连接，用于根据探测需求调节所述光线调节模块的工作状态以实现不同的照明模式，所述照明模式包括明场照明模式、暗场照明模式以及眀场暗场混合照明模式。

可选的，所述光线调节模块包括透反单元、运动单元、开关单元和反射单元；

所述运动单元和所述开关单元分别与所述处理控制模块连接，所述开关单元设置于所述光线输出模块与所述反射单元之间的光路中；

在所述眀场照明模式下，所述处理控制模块用于控制所述运动单元带动所述透反单元移入所述光线输出模块与所述开关单元之间的光路中并控制所述开关单元关闭；

在所述暗场照明模式下，所述处理控制模块用于控制所述运动单元带动所述透反单元移出所述光线输出模块与所述开关单元之间的光路中并控制所述开关单元打开；

在所述眀场暗场混合照明模式下，所述处理控制模块用于控制所述运动单元带动所述透反单元移入所述光线输出模块与所述开关单元之间的光路中并控制所述开关单元打开。

可选的，在所述暗场照明模式下，所述处理控制模块还用于控制所述运动单元带动所述透反单元移出所述待探测物与所述探测模块之间的光路中。

可选的，所述反射单元包括聚焦反射单元。

可选的，所述聚焦反射单元包括球面反射镜或者抛物面反射镜。