[发明专利]一种缺陷检测系统及缺陷检测方法

权利要求书

1.一种缺陷检测系统，其特征在于，包括光线输出模块、光线调节模块、探测模块和处理控制模块；

所述光线输出模块用于输出探测光束；

所述光线调节模块位于所述探测光束的传输路径上，用于调节所述探测光束入射至待探测物，所述待探测物反射所述探测光束形成成像光束，所述成像光束携带所述探测物的缺陷信息；

所述探测模块位于所述成像光束的传播路径上，用于根据所述成像光束成像，形成探测图像；

所述处理控制模块与所述探测模块连接，用于根据所述探测图像确定所述待探测物的缺陷信息；

所述处理控制模块还与所述光线调节模块连接，用于根据探测需求调节所述光线调节模块的工作状态以实现不同的照明模式，所述照明模式包括明场照明模式、暗场照明模式以及眀场暗场混合照明模式。

2.根据权利要求1所述的缺陷检测系统，其特征在于，所述光线调节模块包括透反单元、运动单元、开关单元和反射单元；

所述运动单元和所述开关单元分别与所述处理控制模块连接，所述开关单元设置于所述光线输出模块与所述反射单元之间的光路中；

在所述眀场照明模式下，所述处理控制模块用于控制所述运动单元带动所述透反单元移入所述光线输出模块与所述开关单元之间的光路中并控制所述开关单元关闭；

在所述暗场照明模式下，所述处理控制模块用于控制所述运动单元带动所述透反单元移出所述光线输出模块与所述开关单元之间的光路中并控制所述开关单元打开；

在所述眀场暗场混合照明模式下，所述处理控制模块用于控制所述运动单元带动所述透反单元移入所述光线输出模块与所述开关单元之间的光路中并控制所述开关单元打开。

3.根据权利要求2所述的缺陷检测系统，其特征在于，在所述暗场照明模式下，所述处理控制模块还用于控制所述运动单元带动所述透反单元移出所述待探测物与所述探测模块之间的光路中。

4.根据权利要求2所述的缺陷检测系统，其特征在于，所述反射单元包括聚焦反射单元。

5.根据权利要求4所述的缺陷检测系统，其特征在于，所述聚焦反射单元包括球面反射镜或者抛物面反射镜。

6.根据权利要求1所述的缺陷检测系统，其特征在于，所述光线输出模块包括一个点光源和照明镜组，

所述照明镜组用于调整所述点光源的输出光束形成平行探测光束。

7.根据权利要求1所述的缺陷检测系统，其特征在于，

所述处理控制模块与所述探测模块电连接或者通信连接。

8.一种缺陷检测方法，应用于权利要求1-7任一项所述的缺陷检测系统，其特征在于，所述缺陷检测方法包括：

获取探测需求；

根据所述探测需求调节所述光线调节模块的工作状态以实现不同的照明模式，所述照明模式包括明场照明模式、暗场照明模式以及眀场暗场混合照明模式；

接收所述探测模块在不同照明模式下获取的探测图像并根据所述探测图像确定所述待探测物的缺陷信息。

9.根据权利要求8所述的检测方法，其特征在于，所述光线调节模块包括透反单元、运动单元、开关单元和反射单元；所述运动单元和开关单元分别与所述处理控制模块连接，所述开关单元设置于所述光线输出模块与所述反射单元之间的光路中；

根据所述探测需求调节所述光线调节模块的工作状态以实现不同的照明模式，包括；

在眀场照明模式需求下，控制所述运动单元带动所述透反单元移入所述光线输出模块与所述开关单元之间的光路中并控制所述开关单元关闭；

在暗场照明模式需求下，控制所述运动单元带动所述透反单元移出所述光线输出模块与所述开关单元之间的光路中并控制所述开关单元打开；

在眀场暗场混合照明模需求下，控制所述运动单元带动所述透反单元移入所述光线输出模块与所述开关单元之间的光路中并控制所述开关单元打开。

10.根据权利要求9所述的检测方法，其特征在于，在暗场照明模式需求下，控制所述运动单元带动所述透反单元移出所述光线输出模块与所述开关单元之间的光路中并控制所述开关单元打开，包括：

在所述暗场照明模式需求下，控制所述运动单元带动所述透反单元移出所述待探测物与所述探测模块之间的光路中。