[发明专利]一种晶体硅电池片切割分片钝化方法及其所用的设备在审
申请号: | 202211097974.7 | 申请日: | 2022-09-08 |
公开(公告)号: | CN115763618A | 公开(公告)日: | 2023-03-07 |
发明(设计)人: | 陈剑辉;张旭宁;李文恒;陈静伟;陈兵兵;杨学良;高青;王笑;郭建新;王淑芳 | 申请(专利权)人: | 河北大学 |
主分类号: | H01L31/18 | 分类号: | H01L31/18;H01L21/67;H01L31/0216 |
代理公司: | 石家庄领皓专利代理有限公司 13130 | 代理人: | 薛琳 |
地址: | 071000 河北省保*** | 国省代码: | 河北;13 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 晶体 电池 切割 分片 钝化 方法 及其 所用 设备 | ||
1.一种晶体硅电池片切割分片钝化方法,其特征在于,所述方法包括以下步骤:
A、将待切割的电池片(1)放置在传输装置(2)上,传输装置(2)将电池片(1)向激光器(3)方向输送;
B、用激光器(3)产生的激光切割电池片(1);
C、向电池片(1)上喷洒钝化液,电池片(1)断裂产生新侧面,钝化液流向新侧面;
D、将新侧面上的钝化液吹干,形成钝化层。
2.根据权利要求1所述的一种晶体硅电池片切割分片钝化方法,其特征在于:步骤B中,激光器(3)的位置不动,新侧面的长度方向与传输装置(2)的输送方向相同。
3.如权利要求1或2所述的一种晶体硅电池片切割分片钝化方法所用的设备,其特征在于:所述设备包括用来承载并输送电池片(1)的传输装置(2)、以及设置在传输装置(2)上方的激光器(3),激光器(3)的发射端朝向下方,设备还包括用来向电池片(1)上喷洒钝化液的喷涂装置(4)和用来将新侧面上的钝化液吹干的风淋装置(5),喷涂装置(4)的喷头(4-2)和风淋装置(5)都位于传输装置(2)上方且喷头(4-2)位于激光器(3)与风淋装置(5)之间,喷头(4-2)的喷出口和风淋装置(5)的出风口都朝向下方。
4.根据权利要求3所述的一种晶体硅电池片切割分片钝化方法所用的设备,其特征在于:所述设备还包括设置在激光器(3)一侧的第一传感器(6)、设置在喷头(4-2)一侧的第二传感器(7)、设置在风淋装置(5)一侧的第三传感器(8)、以及控制模块(9),第一传感器(6)、控制模块(9)与激光器(3)依次连接形成为自动切割机构,第二传感器(7)、控制模块(9)与喷涂装置(4)依次连接形成为自动喷涂机构,第三传感器(8)、控制模块(9)与风淋装置(5)依次连接形成为自动风干机构。
5.根据权利要求3所述的一种晶体硅电池片切割分片钝化方法所用的设备,其特征在于:所述传输装置(2)包括设置在激光器(3)两侧的输送带(2-1),设备还包括设置在输送带(2-1)之间的钝化液回收装置(10),激光器(3)的发射端和喷头(4-2)的喷出口都位于钝化液回收装置(10)的进口上方。
6.根据权利要求5所述的一种晶体硅电池片切割分片钝化方法所用的设备,其特征在于:所述钝化液回收装置(10)包括由上向下依次设置且连通的上接液槽(10-1)、下接液槽(10-2)和收集罐(10-3),上接液槽(10-1)和收集罐(10-3)都位于两侧的输送带(2-1)之间,下接液槽(10-2)位于上下两层输送带(2-1)之间且下接液槽(10-2)的进口延伸到输送带(2-1)外侧。
7.根据权利要求3所述的一种晶体硅电池片切割分片钝化方法所用的设备,其特征在于:所述喷涂装置(4)包括空气压缩机(4-1)、喷头(4-2)、以及连接在空气压缩机(4-1)的出气口与喷头(4-2)的进液口之间的储液罐(4-3),还包括连接在空气压缩机(4-1)的出气口与喷头(4-2)的进气口之间的空气变压器(4-4)、以及连接在空气变压器(4-4)的出气口与喷头(4-2)的进气口之间的控制阀(4-5),喷头(4-2)的喷出口朝向下方。
8.根据权利要求7所述的一种晶体硅电池片切割分片钝化方法所用的设备,其特征在于:在喷头(4-2)的进气口处连接有第一进气管(11)和第二进气管(12),第一进气管(11)的进口端与空气变压器(4-4)的出气口连接,控制阀(4-5)连接在第二进气管(12)的进口端与空气变压器(4-4)的出气口之间。
9.根据权利要求7所述的一种晶体硅电池片切割分片钝化方法所用的设备,其特征在于:所述喷头(4-2)为等径结构,喷头(4-2)的轴线与传输装置(2)的传输方向垂直设置,或者是,喷头(4-2)的喷出口向激光器(3)方向倾斜。
10.根据权利要求7所述的一种晶体硅电池片切割分片钝化方法所用的设备,其特征在于:所述喷头(4-2)包括两个下出液段(4-2-1)、位于两个下出液段(4-2-1)之间且位于二者上方的上进液段(4-2-2)、以及连接在上进液段(4-2-2)的下端与每个下出液段(4-2-1)的上端之间的中间连接段(4-2-3),上进液段(4-2-2)的轴线与传输装置(2)的传输方向垂直设置,下出液段(4-2-1)的轴线与传输装置(2)的传输方向垂直设置或者是下出液段(4-2-1)的下端都向内侧倾斜。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射,或微粒辐射敏感的,并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件;专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
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H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的,例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的,一个或多个电光源,如场致发光光源在结构上相连的,并与其电光源在电气上或光学上相耦合的