[发明专利]基于图像处理的探针针痕检测方法及系统

权利要求书

1.基于图像处理的探针针痕检测方法，其特征是，包括：

获取探针扎到焊点上的探针针痕图像；对探针针痕图像进行图像预处理；

基于预处理后的图像，确定芯片焊点区域的坐标位置和面积；

基于芯片焊点区域，确定针痕面积及针痕位置；

判断针痕面积及针痕位置是否满足要求，若不满足条件，则针痕不合格；否则，针痕合格，开始对晶圆进行测试。

2.如权利要求1所述的基于图像处理的探针针痕检测方法，其特征是，对探针针痕图像进行图像预处理，包括：

对图像进行增强处理；

对增强后的图像进行滤波处理；

对滤波后的图像进行色度空间转换处理，将色度空间由BGR色度空间转换到GRAY色度空间；

对色度空间转换处理后的图像进行二值化处理。

3.如权利要求1所述的基于图像处理的探针针痕检测方法，其特征是，基于预处理后的图像，确定芯片焊点区域的坐标位置和面积，包括：

对预处理后的图像进行图像边缘检测，寻找图像的若干个第一轮廓；

对图像的若干个第一轮廓进行筛选，筛选出芯片焊点轮廓；根据芯片焊点轮廓，确定芯片焊点区域的坐标位置和面积。

4.如权利要求3所述的基于图像处理的探针针痕检测方法，其特征是，对预处理后的图像进行图像边缘检测，寻找图像的若干轮廓，是采用Canny边缘检测算法进行图像边缘检测。

5.如权利要求3所述的基于图像处理的探针针痕检测方法，其特征是，对图像的若干个第一轮廓进行筛选，筛选出芯片焊点轮廓；根据芯片焊点轮廓，确定芯片焊点区域的坐标位置和面积，包括：

计算所有第一轮廓的面积；判断每个第一轮廓的面积是否小于设定阈值，如果是，就将当前第一轮廓剔除；如果否，就将第一轮廓保留；

对保留下来的所有的第一轮廓，均进行多边形拟合；判断拟合出来的多边形是否有四个顶点，如果是四个顶点就将第一轮廓保留，如果不是四个顶点，就将第一轮廓删除；

对任意相邻的两个轮廓，拟合出最小外接矩形；假设两个轮廓分别为第一轮廓和第二轮廓，则其对应的最小外接矩形分别是第一最小外接矩形和第二最小外接矩形，第一最小外接矩形的中心点为P1，第二最小外接矩形的中心点为P2，计算P1和P2的坐标差，如果坐标差大于设定阈值，则将两个轮廓均保留，如果坐标差小于设定阈值，则表示这两个轮廓是一个焊点区域的内轮廓和外轮廓，只保留内轮廓，对外轮廓删除；

对保留下来的轮廓，计算其最小外接矩形的长与宽的差值，如果长与宽的差值小于设定阈值则对轮廓予以保留；如果长与宽的差值大于设定阈值则对轮廓予以删除；

对最后保留下来的轮廓，根据最小外接矩形的中心点坐标和最小外接矩形的长和宽，确定芯片焊点区域的坐标位置和面积。

6.如权利要求1所述的基于图像处理的探针针痕检测方法，其特征是，基于芯片焊点区域，确定针痕面积及针痕位置，具体包括：

对芯片焊点区域进行图像裁剪，对裁剪的芯片焊点区域进行形态学处理，寻找图像的若干个第二轮廓；

对图像的若干个第二轮廓进行筛选，筛选出针痕轮廓；

根据针痕轮廓，确定针痕面积及针痕位置。

7.如权利要求1所述的基于图像处理的探针针痕检测方法，其特征是，判断针痕面积及针痕位置是否满足要求，若不满足条件，则针痕不合格；否则，针痕合格，开始对晶圆进行测试，具体包括：

判断针痕面积是否超过设定阈值，如果是，则表示针痕不合格，如果否，则表示针痕合格；

判断针痕位置与图像边缘的距离是否小于设定阈值，如果是，则表示针痕不合格，如果否，则表示针痕合格。