[发明专利]可改善ESD的PD/APD芯片的P电极结构在审
申请号: | 202211080337.9 | 申请日: | 2022-09-05 |
公开(公告)号: | CN115394869A | 公开(公告)日: | 2022-11-25 |
发明(设计)人: | 王权兵;徐之韬;赵雪妍;蔡阳光;易美军 | 申请(专利权)人: | 武汉敏芯半导体股份有限公司 |
主分类号: | H01L31/105 | 分类号: | H01L31/105;H01L31/0224;H01L31/0304 |
代理公司: | 湖北武汉永嘉专利代理有限公司 42102 | 代理人: | 许美红 |
地址: | 430014 湖北省*** | 国省代码: | 湖北;42 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 改善 esd pd apd 芯片 电极 结构 | ||
本发明公开了一种可改善ESD的光探测器芯片P电极结构,其特征在于,P电极为环形的开口结构,与开口相对的环形位置处连接PAD电极。本发明通过P电极结构设计和优化,将P电极设置为环形开口结构,把电流通道一分为二,将P电极环上的电流密度降低二分之一,该举措可以大大降低大电流的冲击,通过有效分流电流的办法可以改善静电释放ESD。
技术领域
本发明涉及光探测器芯片结构,尤其涉及一种可以改善ESD的PD/APD芯片P电极结构。
背景技术
在现有接收芯片中(如PD光探测器和APD雪崩光电二极管),如图1所示,P电极1’采用闭环的设计思路,整个P闭环电极都在收集电流的同时,还会引导电流往同一个方向流向,最终被PAD电极2’处收集并通过外电路输出。也就是说电流在P电极环上只有一路电流方向,电流往一个方向流动时,所收集的电流会越来越大,随之的电流密度也就越来越大,如果不降低电流密度,很容易会造成电极环烧毁。
且现有的电极结构设计比较单一,虽可以满足基本的需求,但针对PD/APD接收芯片在大光功率(mW级别)的使用环境下,会产生较大的光电流(mA级别),因此对电极结构设计显得尤为重要。如果按照常规设计思路,会造成芯片因过大的电流而烧毁。
发明内容
本发明主要目的在于改进光探测器芯片P电极的结构,从而尽量消除光探测器芯片P电极处产生的ESD静电释放的缺陷。
本发明所采用的技术方案是:
本发明提供一种可改善ESD的光探测器芯片的P电极结构,P电极为环形的开口结构,与开口相对的环形位置处连接PAD电极。
接上述技术方案,环形部分为月牙形,由两端向中间逐渐变粗。
接上述技术方案,P电极与PAD电极交界处为环形加宽加厚处。
接上述技术方案,P电极包括多个并联的环形开口结构。
本发明还提供一种PD光探测器芯片,其P电极为上述技术方案所述的可改善ESD的光探测器芯片的P电极结构。
本发明还提供一种APD雪崩光电二极管芯片,其P电极为上述技术方案所述的可改善ESD的APD雪崩光电二极管芯片的P电极结构。
本发明产生的有益效果是:本发明通过P电极结构设计和优化,将P电极设置为环形开口结构,把电流通道一分为二,将P电极环上的电流密度降低二分之一,该举措可以大大降低大电流的冲击,通过有效分流电流的办法可以改善静电释放ESD。通过改善PD/APD芯片ESD的新型P电极结构设计,当器件内部产生大电流流经表面的时候,会选择较宽的电流通道,不受局部电阻偏大而造成芯片的大电流烧毁,从而可以让芯片可靠的工作。
进一步地,P电极的开口环形结构由两端向中间逐渐变粗,通过逐步放宽电极环的宽度来降低电流密度,从而保证电极环上的电流均匀的输出到P-PAD电极处。
进一步地,将P电极环和P-PAD电极连接处的交界处区域加宽加厚,增加接触区域的面积,使得P接触环上面的电流平稳流至P-PAD电极处并收集,该电极结构可以降低ESD浪涌电流,可以大大降低失效风险,从而改善芯片的ESD。
进一步地,P电极包括多个并联的环形开口结构,从而将电流通道分为多路,大大减小每一路的电流,从而改善静电释放ESD。
附图说明
下面将结合附图及实施例对本发明作进一步说明,附图中:
图1是现有技术中PD/APD芯片的P电极与PAD电极的连接的示意图;
图2是本发明第一实施例的PD/APD芯片的P电极结构示意图;
图3是本发明第二实施例的PD/APD芯片的P电极结构示意图;
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