[发明专利]可改善ESD的PD/APD芯片的P电极结构在审
申请号: | 202211080337.9 | 申请日: | 2022-09-05 |
公开(公告)号: | CN115394869A | 公开(公告)日: | 2022-11-25 |
发明(设计)人: | 王权兵;徐之韬;赵雪妍;蔡阳光;易美军 | 申请(专利权)人: | 武汉敏芯半导体股份有限公司 |
主分类号: | H01L31/105 | 分类号: | H01L31/105;H01L31/0224;H01L31/0304 |
代理公司: | 湖北武汉永嘉专利代理有限公司 42102 | 代理人: | 许美红 |
地址: | 430014 湖北省*** | 国省代码: | 湖北;42 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 改善 esd pd apd 芯片 电极 结构 | ||
1.一种可改善ESD的光探测器芯片的P电极结构,其特征在于,P电极为环形的开口结构,与开口相对的环形位置处连接PAD电极。
2.根据权利要求1所述的可改善ESD的光探测器芯片的P电极结构,其特征在于,环形部分为月牙形,由两端向中间逐渐变粗。
3.根据权利要求1所述的可改善ESD的光探测器芯片的P电极结构,其特征在于,P电极与PAD电极交界处为环形加宽加厚处。
4.根据权利要求1所述的可改善ESD的光探测器芯片的P电极结构,其特征在于,P电极包括多个并联的环形开口结构。
5.一种PD光探测器芯片,其特征在于,其P电极为权利要求1-4中任一项所述的可改善ESD的光探测器芯片的P电极结构。
6.一种APD雪崩光电二极管芯片,其特征在于,其P电极为权利要求1-4中任一项所述的可改善ESD的光探测器芯片的P电极结构。
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H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射,或微粒辐射敏感的,并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件;专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
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