[发明专利]可改善ESD的PD/APD芯片的P电极结构在审

专利信息
申请号: 202211080337.9 申请日: 2022-09-05
公开(公告)号: CN115394869A 公开(公告)日: 2022-11-25
发明(设计)人: 王权兵;徐之韬;赵雪妍;蔡阳光;易美军 申请(专利权)人: 武汉敏芯半导体股份有限公司
主分类号: H01L31/105 分类号: H01L31/105;H01L31/0224;H01L31/0304
代理公司: 湖北武汉永嘉专利代理有限公司 42102 代理人: 许美红
地址: 430014 湖北省*** 国省代码: 湖北;42
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摘要:
搜索关键词: 改善 esd pd apd 芯片 电极 结构
【权利要求书】:

1.一种可改善ESD的光探测器芯片的P电极结构,其特征在于,P电极为环形的开口结构,与开口相对的环形位置处连接PAD电极。

2.根据权利要求1所述的可改善ESD的光探测器芯片的P电极结构,其特征在于,环形部分为月牙形,由两端向中间逐渐变粗。

3.根据权利要求1所述的可改善ESD的光探测器芯片的P电极结构,其特征在于,P电极与PAD电极交界处为环形加宽加厚处。

4.根据权利要求1所述的可改善ESD的光探测器芯片的P电极结构,其特征在于,P电极包括多个并联的环形开口结构。

5.一种PD光探测器芯片,其特征在于,其P电极为权利要求1-4中任一项所述的可改善ESD的光探测器芯片的P电极结构。

6.一种APD雪崩光电二极管芯片,其特征在于,其P电极为权利要求1-4中任一项所述的可改善ESD的光探测器芯片的P电极结构。

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