[发明专利]基板测试装置及利用其的脱附力测量方法

权利要求书

1.一种基板测试装置，包括：

静电卡盘，其支承基板；

垂直力测量部，布置在所述静电卡盘上；

静电卡盘电力施加部，向所述静电卡盘施加驱动电压和第一接地电压；以及

基板电力施加部，向所述基板施加第二接地电压；

其中，通过所述静电卡盘电力施加部向所述静电卡盘施加所述驱动电压以及所述基板电力施加部向所述基板施加所述第二接地电压，所述基板被充电，

通过所述静电卡盘电力施加部向所述静电卡盘施加所述第一接地电压以及所述基板电力施加部向所述基板施加所述第二接地电压，所述基板被放电，以及

由所述垂直力测量部测量所述基板的脱附力。

2.根据权利要求1所述的基板测试装置，其中，在所述基板被充电之前，通过向所述基板施加所述第二接地电压来设置所述基板的初始电荷。

3.根据权利要求2所述的基板测试装置，其中，

在设置所述基板的初始电荷时，所述静电卡盘电力施加部不向所述静电卡盘施加所述驱动电压和所述第一接地电压。

4.根据权利要求1所述的基板测试装置，其中，

所述基板被充电达第一操作时间，以及

所述基板被放电达与所述第一操作时间不同的第二操作时间。

5.根据权利要求1所述的基板测试装置，其中，

在所述基板被充电之后，且在所述基板被放电之前，不向所述静电卡盘施加所述驱动电压且不向所述基板施加所述第二接地电压，以使所述基板保持带电状态。

6.根据权利要求5所述的基板测试装置，其中，

所述基板被充电达第一操作时间，

所述基板被放电达比所述第一操作时间短的第二操作时间，以及

所述基板保持带电状态达比所述第二操作时间短的第三操作时间。

7.根据权利要求1所述的基板测试装置，还包括：

夹持件，布置在所述静电卡盘的下方，并用于固定所述静电卡盘。

8.根据权利要求1所述的基板测试装置，其中，

由所述垂直力测量部测量所述基板的脱附力是在所述基板不被施加所述第二接地电压且所述静电卡盘不被施加所述驱动电压和所述第一接地电压的状态下执行的。

9.根据权利要求1所述的基板测试装置，其中，

在所述基板被放电之后，在所述基板的内部残留有残留电荷，

通过所述残留电荷，在所述基板和所述静电卡盘之间产生静电引力，以及

所述脱附力是根据所述静电引力来确定的。

10.根据权利要求1所述的基板测试装置，还包括：

测试室，包括用于对所述基板进行处理的内部空间；以及

传送部，布置在所述测试室的下方，并用于传送所述测试室。

11.根据权利要求10所述的基板测试装置，还包括：

电机，在所述测试室的上表面上，并且向所述垂直力测量部提供推动或拉动所述基板的动力，

其中，所述电机通过滚珠丝杠方法在垂直于所述基板的方向上向所述垂直力测量部提供所述动力。

12.根据权利要求11所述的基板测试装置，其中，

所述电机通过向所述垂直力测量部提供所述动力，使所述垂直力测量部能够以第一速度或第二速度匀速地拉动所述基板，以及

所述第一速度不同于所述第二速度。

13.根据权利要求11所述的基板测试装置，还包括：

阻尼器，布置在所述电机和所述垂直力测量部之间，并用于减少随着所述电机向所述垂直力测量部提供所述动力而产生的振动。