[发明专利]基底传输设备在审
申请号: | 202210916129.1 | 申请日: | 2016-07-11 |
公开(公告)号: | CN115424964A | 公开(公告)日: | 2022-12-02 |
发明(设计)人: | R.T.卡夫尼 | 申请(专利权)人: | 博鲁可斯自动化美国有限责任公司 |
主分类号: | H01L21/677 | 分类号: | H01L21/677;H01L21/67 |
代理公司: | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人: | 刘桢;张一舟 |
地址: | 美国马*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 基底 传输 设备 | ||
1.一种基底传输设备,所述基底传输设备包括:
框架;以及
驱动器区段,所述驱动器区段连接至所述框架,所述驱动器区段包括:
多驱动器轴主轴,所述多驱动器轴主轴具有至少一个同轴的轴主轴;
至少一个可互换的复合马达模块,其具有串联设置的多于一个的不同的可互换马达模块,所述串联的每一个不同的模块具有可操作地联接至所述同轴的轴主轴的对应轴的马达,并且限定所述驱动器区段的对应的独立驱动器轴线,每个模块的所述马达相应地具有固定至所述框架的马达定子以及连接至所述对应轴的马达转子;以及
罐形密封件,所述罐形密封件设置在每个马达模块的所述马达定子和所述马达转子之间,并且使所述相应的马达定子和马达转子彼此气密地密封;
其中,所述至少一个可互换的复合马达模块能够从能够联接到所述同轴的轴主轴的其他不同的可互换的复合马达模块中选择以用于联接到所述同轴的轴主轴,每个模块具有与到至所述同轴的轴主轴的联接无关的不同的预定特性,所述复合模块的不同的预定特性限定所述对应的驱动器轴线中的一个或多个的与轴主轴位置无关的不同的预定驱动器特性,使得所述至少一个复合马达模块的选择确定所述同轴的轴主轴的不同的预定驱动器特性。
2.根据权利要求1所述的基底传输设备,其中,所述至少一个复合马达模块的选择确定不同于所述独立驱动器轴线中另一个的所述对应轴线的不同的预定驱动器特性。
3.根据权利要求1所述的基底传输设备,其中所述罐形密封件跨越所述驱动器区段的不同的可互换马达模块之间的接口。
4.根据权利要求1所述的基底传输设备,其中,所述同轴的轴主轴包括三轴主轴。
5.根据权利要求1所述的基底传输设备,其中,所述马达模块中的至少一个具有嵌套在相应的定子内的轴主轴机械轴承。
6.根据权利要求5所述的基底传输设备,其中,所述马达模块中的至少一个是紧凑高度模块,其中,所述紧凑高度模块的模块高度与所述轴主轴机械轴承无关。
7.一种基底传输设备,所述基底传输设备包括:
框架;以及
驱动器区段,所述驱动器区段连接至所述框架,所述驱动器区段包括:
驱动器轴主轴,所述驱动器轴主轴具有至少一个驱动器轴;
至少一个可互换的复合马达模块,其具有串联设置的多于一个的不同的可互换马达模块,所述串联的每一个不同的模块具有可操作地联接至所述驱动轴主轴的对应驱动轴的马达,并且限定所述驱动器区段的对应的独立驱动器轴线,每个模块的所述马达相应地具有固定至所述框架的马达定子以及连接至所述对应轴的马达转子;
其中,所述至少一个可互换的复合马达模块能够从能够联接到所述同轴的轴主轴的其他可互换的复合马达模块中选择以用于联接到所述同轴的轴主轴;以及
线性滑动托架,所述线性滑动托架具有联接至所述马达模块的预定共同联接器,所述线性滑动托架具有可调节长度以便实现所述线性滑动托架至所述同轴的轴主轴的联接。
8.根据权利要求7所述的基底传输设备,其中,所述至少一个可互换的复合马达模块的选择确定不同于所述独立驱动器轴线中另一个的所述对应轴线的不同的预定驱动器特性。
9.根据权利要求7所述的基底传输设备,其中所述串联布置的多于一个的可互换的马达模块包括两个马达模块且所述至少一个驱动器轴包括两个驱动器轴,每个驱动器轴对应于所述两个马达模块中的相应一个。
10.根据权利要求7所述的基底传输设备,其中所述串联布置的多于一个的可互换的马达模块包括三个马达模块且所述至少一个驱动器轴包括三个驱动器轴,每个驱动器轴对应于所述三个马达模块中的相应一个。
11.根据权利要求7所述的基底传输设备,还包括罐形密封件,所述罐形密封件设置在每个马达模块的所述马达定子和所述马达转子之间,并且使所述相应的马达定子和马达转子彼此气密地密封。
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