[发明专利]一种PERC电池EL烧结云雾片的改善方法

说明书

本发明提供了一种PERC电池EL烧结云雾片的改善方法，所述改善方法包括以下步骤：(1)对PERC电池的硅片进行扩散，将硅片送入扩散设备，对所述扩散设备依次进行吹扫、抽真空、恒压和检漏；(2)扩散设备内通入小Nsubgt;2/subgt;、大Nsubgt;2/subgt;和Osubgt;2/subgt;，对所述硅片依次进行氧化、一次扩散、二次扩散、一次推进、二次推进、三次推进、一次退火、三次扩散、二次退火、四次扩散、三次退火和破空，最后将硅片取出；(3)对步骤(2)取出的硅片进行丝网印刷，所述丝网印刷包括五峰值烧结，得到EL烧结云雾现象改善的PERC电池片；所述改善方法进行低温下多次扩散，将单峰值烧结改为五峰值烧结，提升了PN结均匀性和烧结稳定性，有效减少EL云雾现象。

技术领域

本发明属于晶体硅太阳能PERC电池领域，尤其涉及一种PERC电池EL烧结云雾片的改善方法。

背景技术

PERC电池以其优异的性价比日渐成为光伏电池市场主流产品，生产成本对光伏企业的盈利甚至生存尤为重要。PERC电池常见的EL缺陷异常在生产成本里占比可观，EL缺陷是指检验晶体硅太阳电池成品，对电池片进行电致发光(Electro Luminescence，EL)测试，电池片中不均匀的图像可以反应出晶体硅太阳电池存在的缺陷，即EL缺陷。EL图像的明暗度与晶体硅太阳电池的少子扩散长度和注入电流密度成正比，当晶体硅太阳电池内部存在缺陷时，其少子寿命的分布会呈现明暗差异，从而导致其EL图像显示也存在明暗差异。

CN108091724A公开一种改善PERC电池背面界面态的方法及其电池，涉及太阳能电池技术领域，具体包括以下步骤：1)对硅片进行前期的制绒、扩散、刻蚀和退火工艺：2)在硅片背面使用管式PEVCD的等离子体清洗杂质，并依次沉积Al₂O₃层和SiNx层。本发明通过在PERC电池的背面Si层上依次沉积Al₂O₃层和SiNx层，既可以降低电池片背面界面态，提高钝化效果，又可以改善背面制程过程中吸附杂质导致的EL问题，提高电池片的EL良率，但是所述方法仅从解决黑斑现象的去除杂质方面入手，不能改善烧结过程出现的云雾现象。

CN212907770U公开了一种减少烧结内粉尘污染导致的良品率影响；通过烧结炉内增加防护框可有效的起到防污染的效果，同时通过电风扇向硅片进行吹风可起到除尘效果，避免灰尘附着与硅片上造成污染，而通过排风框可实现排风工作，且灰尘可落在集尘抽屉内，所述装置能够高效的起到防污染效果，能够有效避免硅片传输途中因灰尘以及其它因素造成的污染，避免污染从而大大降低烧结不良的概率，但是密闭的生产设备并不适合使用所述方法改进EL缺陷。

CN214100239U公开了一种改善EL黑斑的离子气流发生装置，设置于扩散退火炉出口端，包括一对相对设置在传输线两侧的离子气流发生装置，与传输线平行设置：离子气流发生装置包括管状的壳体，壳体的一端为密封端，另一端接入压缩气体和高压电源：沿着管长方向所述壳体的表面等距离的开设若干个吹气孔，安装时吹气孔朝向所述传输线的一侧安装：在壳体内部还包括等距离设置的若干个离子针，离子针采用并联的方式与高压电源相连。所述实用新型的装置减少电池片间互相吸附接触以及因静电作用吸附的细微灰尘颗粒导致的EL黑斑；但是所述实用新型需要在现有装置基础上额外加装设备，不适合已建成的产线。

目前，针对PERC电池量产时批量爆发的一种EL烧结云雾片，暂无解决方案，需要对EL云雾异常现象进行改善。

发明内容

针对现有技术存在的PERC电池片烧结过程中电池片受热不均导致EL呈现云雾状发黑等问题，本发明提出了一种PERC电池EL烧结云雾片的改善方法，所述改善方法结合扩散工艺调整和烧结炉匹配工艺条件调整，能有效解决EL云雾现象。

为达此目的，本发明采用以下技术方案：

第一方面，本发明提供了一种PERC电池EL烧结云雾片的改善方法，所述改善方法包括以下步骤：