[发明专利]一种PERC电池EL烧结云雾片的改善方法

权利要求书

1.一种PERC电池EL烧结云雾片的改善方法，其特征在于，所述改善方法包括以下步骤：

(1)对PERC电池的硅片进行扩散，将硅片送入扩散设备，对所述扩散设备依次进行吹扫、抽真空、恒压和检漏；

(2)扩散设备内通入小N₂、大N₂和O₂，对所述硅片依次进行氧化、一次扩散、二次扩散、一次推进、二次推进、三次推进、一次退火、三次扩散、二次退火、四次扩散、三次退火和破空，最后将硅片取出；

(3)对步骤(2)取出的硅片进行丝网印刷，所述丝网印刷包括五峰值烧结，得到EL烧结云雾现象改善的PERC电池片。

2.根据权利要求1所述的改善方法，其特征在于，步骤(1)中所述扩散设备的类型包括管式扩散设备。

3.根据权利要求1所述的改善方法，其特征在于，步骤(1)中所述将硅片送入扩散设备的步骤包括：将硅片放置在石英舟夹具上，由机械臂送入扩散设备。

4.根据权利要求1所述的改善方法，其特征在于，步骤(1)中所述将硅片送入扩散设备的时间为500-700s；所述将硅片送入扩散设备的温度为700-800℃；所述将硅片送入扩散设备时压力为1000-1050mbar。

5.根据权利要求1所述的改善方法，其特征在于，步骤(1)中所述吹扫的步骤包括：清洗扩散设备的腔室，关闭设备门，通入N₂吹扫扩散设备的腔室。

6.根据权利要求1所述的改善方法，其特征在于，步骤(1)中所述吹扫的时间为500-700s；所述吹扫的温度为700-800℃；所述吹扫时扩散设备内的压力为600-800mbar。

7.根据权利要求1所述的改善方法，其特征在于，步骤(1)中所述抽真空的时间为50-70s；所述抽真空的温度为700-800℃；所述抽真空结束后扩散设备内的压力为50-60mbar。

8.根据权利要求1所述的改善方法，其特征在于，步骤(1)中所述恒压的步骤包括：抽真空后，稳定扩散设备内的压力及气流。

9.根据权利要求1所述的改善方法，其特征在于，步骤(1)中所述恒压的时间为50-70s；所述恒压的温度为700-800℃；所述恒压时扩散设备内的压力为50-60mbar。

10.根据权利要求1所述的改善方法，其特征在于，步骤(1)中所述检漏的时间为50-70s；所述检漏的温度为700-800℃；所述检漏时扩散设备内的压力为1000-1050mbar。

11.根据权利要求1所述的改善方法，其特征在于，步骤(2)中所述氧化的时间为200-400s；所述氧化的温度为750-800℃；所述氧化时扩散设备内的压力为50-60mbar；所述氧化时通入O₂的流量为1000-1500sccm；所述氧化时通入小N₂的流量为500-1500sccm；所述通入小N₂时携带POCl₃；所述POCl₃的流量为0-5sccm。

12.根据权利要求1所述的改善方法，其特征在于，步骤(2)中所述一次扩散的时间为200-400s；所述一次扩散的温度为750-800℃；所述一次扩散时扩散设备内的压力为50-60mbar；所述一次扩散时通入O₂的流量为1000-1500sccm；所述一次扩散时通入小N₂的流量为1500-2500sccm。