[发明专利]卷对卷表面压制装置在审
申请号: | 202210897471.1 | 申请日: | 2022-07-28 |
公开(公告)号: | CN115881585A | 公开(公告)日: | 2023-03-31 |
发明(设计)人: | 金容男;张宰薰 | 申请(专利权)人: | 海成帝爱斯株式会社 |
主分类号: | H01L21/67 | 分类号: | H01L21/67;B30B9/00;B30B15/08;B30B15/26 |
代理公司: | 北京同立钧成知识产权代理有限公司 11205 | 代理人: | 杨丽;臧建明 |
地址: | 韩国庆尚南道*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 表面 压制 装置 | ||
本发明公开一种卷对卷表面压制装置。卷对卷表面压制装置包含:开卷机和卷取机,两者以卷对卷方法传送组件;压机,安置在开卷机与卷取机之间,包括压制组件的压板,且具有沿压板的边缘呈相等间距的多个基准孔;供料器,安置在开卷机的后方处且移动组件;以及控制器,配置成基于多个基准孔中的至少任一个来控制待传送组件。
相关申请的交叉引用
本申请案主张2021年9月29日在韩国知识产权局提交的韩国专利申请案第10-2021-0128957号的权益,所述申请案的公开内容以引用的方式全部并入本文中。
技术领域
本公开涉及一种用于压制以卷对卷方法传送的组件的表面的装置,且更具体地说,涉及一种可精确控制压制区段的卷对卷表面压制装置。
背景技术
用于涂布衬底表面的光阻焊(photo solder resist;PSR)油墨用以允许电信号仅流经衬底的特定部分。当衬底涂布有PSR油墨时,衬底经初步干燥,且随后通过使用辊、表面压力压机等压制以提高PSR油墨的平坦度且进行曝光、显影和固化过程以最终确定衬底。
针对提高PSR油墨的平坦度,进行PSR平坦化工艺以减少管芯贴附膜与PSR油墨表面之间的边界表面中的孔的产生。然而,PSR油墨平坦化工艺难以应用于不断涂布且干燥PSR墨水的工艺,如在卷对卷方法中,制造具有真空平坦化腔室的设备,且此外,均匀地调整厚度。因此,难以应用于卷对卷类型的PSR平坦化工艺已仅主要应用于面板类型。
特定来说,在卷对卷类型中,卷轴频繁地暂停和移动,例如,在一个工艺中不断执行卷驱动时,在平坦化工艺中以停止状态执行操作。在这一工艺中,在不透光离型膜覆盖衬底的上部部分和下部部分时,衬底的精确位移为困难的,从而衬底可能无法精确地定位在所需操作位置。
上文所描述的背景技术为发明人为推导本公开而拥有的或在本公开的推导过程中获取的技术信息,且在提交本申请案之前,不能说其是向公众公开的已知技术。
[现有技术文件]
[专利文献]
(专利文献1)日本专利公开案第1998-211652A号
发明内容
提供一种卷对卷表面压制装置,其可通过在压机的边缘处形成孔通过设定用于感测的参照点准确地控制衬底的位置。
然而,此目的为示例性的,且本公开的待解决的目的并不由此受限。
额外方面将部分地在下文描述中得到阐述,且部分地将从描述中显而易见,或可通过对所呈现实施例的实践而习得。
根据本公开的方面,卷对卷表面压制装置包含:开卷机及卷取机,两者以卷对卷方法传送组件;压机,安置在开卷机与卷取机之间,包括压制组件的压板,且具有沿压板的边缘呈相等间距的多个基准孔;供料器,安置在开卷机的后方处且移动组件;以及控制器,配置成基于多个基准孔中的至少任一个来控制待传送组件。
在实施例中,供料器可包含以与多个基准孔的间距相同的间距操作的驱动电机,且控制器可进一步配置成控制供料器以多个基准孔的间距的整数倍数的间距传送组件。
在实施例中,控制器可进一步配置成在压机压制组件时停止开卷机、卷取机以及供料器,且配置成在除压机压制组件的区段以外的区段中操作开卷机、卷取机以及供料器以不断传送组件。
在实施例中,卷对卷表面压制装置可还包含一对缓冲辊,所述一对缓冲辊安置在开卷机与卷取机之间,在组件的传送方向上面向彼此,其间具有所述压机,且根据施加到组件的张力在高度方向上移动,其中控制器可进一步配置成通过检测一对缓冲辊的高度来控制组件的移动速度。
在实施例中,卷对卷表面压制装置可还包含离型膜贴附部分,所述离型膜贴附部分安置在开卷机与卷取机之间且将离型膜贴附到组件。
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