[发明专利]一种高强度金属遮罩

说明书

本发明公开一种高强度金属遮罩，包括：金属板材，所述金属板材表面设有若干贯通孔，通过若干贯通孔在金属板材上形成若干遮罩块结构，所述遮罩块结构包括第一遮部，所述第一遮部的厚度T3与金属板材的厚度H1的比值小于等于1/5，本发明在不改变遮罩块结构厚度的情况下，通过提高第一遮部与遮罩块结构的厚度比来提高金属遮罩的强度。

技术领域

本发明涉及显示屏蒸镀技术领域，具体涉及一种高强度金属遮罩。

背景技术

精密金属遮罩主要用于OLED蒸镀制程中，RGB三种颜色的蒸镀材料透过精密金属遮罩上的孔洞，准确地将位置形状大小定义在玻璃基板上。随着OLED需求分辨率越来越高，像素间距也就越来越近，精密金属遮罩的图形区结构从图1所示结构发展成图2所示结构。图1中的图形区结构厚度H2＝金属板材厚度H1；图2的图形区结构厚度H3金属板材厚度H1。当图形区结构厚度金属板材厚度的1/2时，精密金属遮罩结构强度过低易产生折痕，目前均是透过降低金属板材厚度，使图形区结构厚度≥金属板材厚度1/2,确保生产过程和使用过程不易产生折痕，但是，厚度越薄的金属板材在轧制工艺上越难控制其板型平整性及厚度均匀性等品质。

发明内容

为解决以上技术问题，本发明提供了一种高强度金属遮罩，在不改变遮罩块结构厚度的情况下，通过提高第一遮部与遮罩块结构的厚度比来提高金属遮罩的强度。

本发明采用以下技术方案：

一种高强度金属遮罩，包括：金属板材，所述金属板材表面设有若干贯通孔，通过若干贯通孔在金属板材上形成若干遮罩块结构，所述遮罩块结构包括第一遮部，所述第一遮部的厚度T3与金属板材的厚度H1的比值小于等于1/5。

作为优选，所述遮罩块结构厚度小于金属板材厚度的1/2。

作为优选，所述第一遮部包括错位设置的上端点S1与下端点S2，且上端点S1与下端点S2形成的连线与遮罩块结构上表面之间的夹角θ为70度-90度。

作为优选，所述上端点S1与下端点S2之间的水平距离W2小于相邻两个遮罩块结构之间的距离W1的5％。

作为优选，所述上端点S1与下端点S2之间的水平距离为W2，且T3＝W2×tanθ。

作为优选，所述第一遮部的厚度T3为0.5～5um

作为优选，所述第一遮部的厚度T3为1～3um。

作为优选，所述第一遮部的上端点S1与下端点S2之间为弧形过渡。

作为优选，所述贯通孔包括相互连通的第一蚀刻孔、第二蚀刻孔，所述第一蚀刻孔、第二蚀刻孔开口尺寸不同，并致使遮罩块结构形成第一遮部和第二遮部。

作为优选，所述金属板材的材质为Fe-Ni合金。

与现有技术相比，本发明具有以下优点：当图形区结构厚度金属板材厚度的1/2时，精密金属遮罩结构强度过低易产生折痕，目前均是透过降低金属板材厚度，使图形区结构厚度≥金属板材厚度1/2,确保生产过程和使用过程不易产生折痕，但是，厚度越薄的金属板材在轧制工艺上越难控制其板型平整性及厚度均匀性等品质，故优选方案是不降低金属板材厚度。本发明提供了一种高强度金属遮罩，在不改变遮罩块结构厚度的情况下，通过提高第一遮部与遮罩块结构的厚度比来提高金属遮罩的强度。

附图说明

图1为现有技术的结构示意图。

图2为现有技术的另一种结构示意图。

图3为本发明的金属遮罩的结构示意图。

图4为遮罩块结构的结构示意图。

图5为遮罩块结构的示意图。

图6为金属遮罩的使用状态示意图。