[发明专利]一种高强度金属遮罩

权利要求书

1.一种高强度金属遮罩，其特征在于，包括：金属板材(1)，所述金属板材(1)表面设有若干贯通孔(11)，通过若干贯通孔(11)在金属板材(1)上形成若干遮罩块结构(12)，所述遮罩块结构(12)包括第一遮部(121)，所述第一遮部(121)的厚度T3与金属板材(1)的厚度H1的比值小于等于1/5。

2.根据权利要求1所述的一种高强度金属遮罩，其特征在于，所述遮罩块结构(12)厚度小于金属板材(1)厚度的1/2。

3.根据权利要求1所述的一种高强度金属遮罩，其特征在于，所述第一遮部(121)包括错位设置的上端点S1与下端点S2，且上端点S1与下端点S2形成的连线与遮罩块结构(12)上表面之间的夹角θ为70度－90度。

4.根据权利要求4所述的一种高强度金属遮罩，其特征在于，所述上端点S1与下端点S2之间的水平距离W2小于相邻两个遮罩块结构(12)之间的距离W1的5％。

5.根据权利要求4所述的一种高强度金属遮罩，其特征在于，所述上端点S1与下端点S2之间的水平距离为W2，且T3＝W2×tanθ。

6.根据权利要求1所述的一种高强度金属遮罩，其特征在于，所述第一遮部(121)的厚度T3为0.5～5um。

7.根据权利要求1所述的一种高强度金属遮罩，其特征在于，所述第一遮部(121)的厚度T3为1～3um。

8.根据权利要求4所述的一种高强度金属遮罩，其特征在于，所述第一遮部(121)的上端点S1与下端点S2之间为弧形过渡。

9.根据权利要求1所述的一种高强度金属遮罩，其特征在于，所述贯通孔(11)包括相互连通的第一蚀刻孔(111)、第二蚀刻孔(112)，所述第一蚀刻孔(111)、第二蚀刻孔(112)开口尺寸不同，并致使遮罩块结构(12)形成第一遮部(121)和第二遮部(122)。

10.根据权利要求1所述的一种高强度金属遮罩，其特征在于，所述金属板材(1)的材质为Fe-Ni合金。