[发明专利]磁控晶圆传输机构及传输方法

说明书

本发明公开了一种磁控晶圆传输机构，包括真空腔体和外部驱动装置；所述真空腔体内设置有内水平导轨，内水平导轨上设置有第一滑块，第一滑块上设置有晶圆托盘，所述第一滑块上设置有第一磁铁，内水平导轨与真空腔体竖直方向移动连接，所述内水平导轨上设置有第二磁铁；所述外部驱动装置包括与内水平导轨平行的外水平导轨，外水平导轨上设置有第二滑块，第二滑块上设置有第三磁铁，第三磁铁与第一磁铁耦合，所述第三磁铁连接有驱动机构；所述外部驱动装置还包括第四磁铁，第四磁铁位于真空腔体下方，第四磁铁与第二磁铁耦合，并且第四磁铁为电磁铁，本发明通过外部磁力带动真空腔体内的晶圆托盘运动，以达到晶圆传输、上下载功能。

技术领域

本发明属于半导体设备技术领域，更具体的说涉及一种磁控晶圆传输机构。

背景技术

半导体设备一般配有自动晶圆自动传输机构，传输晶圆至单腔体或者多腔体半导体设备。由于传输腔体需要抽真空，所以需要真空密封、可以上下、水平、旋转等运动的机械手或者其他传输装置。这样的传输系统，结构复杂，制造成本高，同时运动部件需满足真空密封要求，机械传动过程中运动部件多，将对真空环境造成污染。

发明内容

针对现有技术的不足，本发明提供了一种采用外部驱动装置和真空腔体内的磁铁配合，通过磁力带动真空腔体内的晶圆托盘运动，以达到晶圆传输、上下载功能，免除了对于运动部件的真空密封要求，减少机械运动部件对真空环境的污染，过滤机械传动系统的振动。

为实现上述目的，本发明提供了如下技术方案：一种磁控晶圆传输机构，包括真空腔体和外部驱动装置；

所述真空腔体内设置有内水平导轨，内水平导轨上设置有第一滑块，第一滑块上设置有晶圆托盘，所述第一滑块上设置有第一磁铁，内水平导轨与真空腔体竖直方向移动连接，所述内水平导轨上设置有第二磁铁；

所述外部驱动装置包括与内水平导轨平行的外水平导轨，外水平导轨上设置有第二滑块，第二滑块上设置有第三磁铁，第三磁铁与第一磁铁耦合，所述第三磁铁连接有驱动机构；所述外部驱动装置还包括第四磁铁，第四磁铁位于真空腔体下方，第四磁铁与第二磁铁耦合，并且第四磁铁为电磁铁。

进一步的所述内水平导轨与真空腔体底部之间设置有缓冲弹簧。

进一步的所述内水平导轨下方设置有支撑盘，支撑盘连接缓冲弹簧。

进一步的所述真空腔体内对应内水平导轨的两端处均设置有位置传感器，位置传感器电连接驱动机构，位置传感器用于检测第一滑块的位置。

进一步的所述驱动机构包括驱动马达。

进一步的所述第三磁铁与第二滑块之间设置有连接螺杆，所述连接螺杆穿过第二滑块并且连接螺杆上设置有调节螺母，所述连接螺杆的轴向与第一滑块和第二滑块的连线平行。

与现有技术相比，本发明的有益效果是：本申请将主动驱动部件全部置于真空腔体外部，在真空腔体内仅具有第一滑块为运动部件，通过外部磁力效果驱动内部的晶圆托盘移动，达到传输和上下载功能，免除了对于运动部件的真空密封要求，减少机械运动部件对真空环境的污染，过滤机械传动系统的振动，降低冲击载荷，设计结构简单，制造成本低，可靠性高。

附图说明

图1为本发明磁控晶圆传输机构内部的俯视图；

图2为第一磁铁、第三磁铁和真空腔体的侧壁位置结构示意图；

图3为第三磁铁位置调节时的示意图；

图4为本发明磁控晶圆传输机构内部的侧视图。

附图标记：1、真空腔体；21、内水平导轨；22、外水平导轨；31、第一滑块；32、第二滑块；4、晶圆托盘；51、第一磁铁；52、第三磁铁；521、支撑板；523、连接螺杆；524、调节螺母；6、驱动马达；7、位置传感器；81、第二磁铁；82、第四磁铁；9、缓冲弹簧。