[发明专利]磁控晶圆传输机构及传输方法

权利要求书

1.一种磁控晶圆传输机构，其特征在于：包括真空腔体和外部驱动装置；

所述真空腔体内设置有内水平导轨，内水平导轨上设置有第一滑块，第一滑块上设置有晶圆托盘，所述第一滑块上设置有第一磁铁，内水平导轨与真空腔体竖直方向移动连接，所述内水平导轨上设置有第二磁铁；

所述外部驱动装置包括与内水平导轨平行的外水平导轨，外水平导轨上设置有第二滑块，第二滑块上设置有第三磁铁，第三磁铁与第一磁铁耦合，所述第三磁铁连接有驱动机构；所述外部驱动装置还包括第四磁铁，第四磁铁位于真空腔体下方，第四磁铁与第二磁铁耦合，并且第四磁铁为电磁铁。

2.根据权利要求1所述的磁控晶圆传输机构，其特征在于：所述内水平导轨与真空腔体底部之间设置有缓冲弹簧。

3.根据权利要求2所述的磁控晶圆传输机构，其特征在于：所述内水平导轨下方设置有支撑盘，支撑盘连接缓冲弹簧。

4.根据权利要求3所述的磁控晶圆传输机构，其特征在于：所述真空腔体内对应内水平导轨的两端处均设置有位置传感器，位置传感器电连接驱动机构，位置传感器用于检测第一滑块的位置。

5.根据权利要求4所述的磁控晶圆传输机构，其特征在于：所述驱动机构包括驱动马达。

6.根据权利要求5所述的磁控晶圆传输机构，其特征在于：所述第三磁铁与第二滑块之间设置有连接螺杆，所述连接螺杆穿过第二滑块并且连接螺杆上设置有调节螺母，所述连接螺杆的轴向与第一滑块和第二滑块的连线平行。