[发明专利]一种除气预热腔用晶圆预热装置及其制造方法

权利要求书

1.一种除气预热腔用晶圆预热装置，其特征在于，包括与除气预热腔形状相匹配的内衬(1)、柔性加热管(2)、密封装置(3)，所述内衬(1)的外侧面设有螺旋沟槽(101)，所述螺旋沟槽(101)均匀向内衬(1)的上下两端延伸，所述螺旋沟槽(101)的形状与柔性加热管(2)的形状相匹配，所述柔性加热管(2)嵌设在螺旋沟槽(101)中，并围绕内衬(1)的外侧面设置，所述密封装置(3)密封套设在柔性加热管(2)上。

2.根据权利要求1所述的一种除气预热腔用晶圆预热装置，其特征在于，所述内衬(1)为方形，所述螺旋沟槽(101)沿着内衬(1)的4个外侧面设置。

3.根据权利要求1所述的一种除气预热腔用晶圆预热装置，其特征在于，所述密封装置(3)包括密封轴(301)、固定套设在密封轴(301)上的密封板(302)、密封管(303)、固定板(304)，所述密封板(302)通过密封管(303)与固定板(304)连接，所述密封轴(301)密封套设在柔性加热管(2)上，所述柔性加热管(2)的一端穿过固定板(304)，所述密封板(302)与密封轴(301)密封连接。

4.根据权利要求3所述的一种除气预热腔用晶圆预热装置，其特征在于，所述密封管(303)为金属波纹管，所述金属波纹管设在密封板(302)与固定板(304)之间，所述金属波纹管的两端分别与密封板(302)、固定板(304)固定连接。

5.根据权利要求4所述的一种除气预热腔用晶圆预热装置，其特征在于，所述密封轴(301)的两端与设置有螺纹段，所述螺纹段上套设有螺帽(305)，所述密封板(302)设置在2个螺帽(305)之间。

6.根据权利要求5所述的一种除气预热腔用晶圆预热装置，其特征在于，所述密封板(302)为台阶结构。

7.根据权利要求1所述的一种除气预热腔用晶圆预热装置，其特征在于，所述柔性加热管(2)为铠装加热管，所述铠装加热管包括外壳(201)、设置在外壳(201)内的氧化镁瓷柱(202)、设在氧化镁瓷柱(202)内的加热丝(203)、设在氧化镁瓷柱(202)内的热电偶丝(204)。

8.根据权利要求1-7中任一项所述的一种除气预热腔用晶圆预热装置，其特征在于，所述内衬(1)的材料选用铝合金。

9.根据权利要求1所述的一种除气预热腔用晶圆预热装置的制造方法，其特征在于，包括以下步骤：

S1、根据所述除气预热腔的尺寸加工得到内衬(1)；

S2、对柔性加热管(2)进行选型，根据柔性加热管(2)的尺寸在所述内衬(1)的外表面加工螺旋沟槽(101)；

S3、将所述柔性加热管(2)嵌入所述螺旋沟槽(101)中，从而将所述柔性加热管(2)绕在所述内衬(1)的外表面上；

S4、按图纸加工得到密封装置(3)，将所述密封装置(3)激光焊接到所述柔性加热管(2)上。

10.根据权利要求9所述的制造方法，其特征在于，所述步骤S1具体操作如下：所述内衬(1)的材料选用铝合金，根据所述除气预热腔的尺寸确定所述内衬(1)的尺寸后，将所述内衬(1)拆分成多块轧制铝板，然后使用摩擦搅拌焊对多块所述轧制铝板进行穿透焊接成型。