[发明专利]一种芯片测试工程的动态优化方法及其系统

权利要求书

1.一种芯片测试工程的动态优化方法，其特征在于，包括如下：

设置预设测试工程的良率基准值；

由ATE设备依次对每个晶圆执行测试工程的各个测试项，并持续获取ATE设备在测试过程中产生的关于晶圆的测试数据；

在已完成部分晶圆测试的基础上，获取当前晶圆的测试数据，结合由当前晶圆之前所有晶圆的测试数据共同构成的历史测试数据，得到第一测试数据；

在第一测试数据中，查找与测试工程中各测试项相关的数据，得到各个测试项所对应的测试项数据；

逐一对比各个测试项数据是否超出该测试项的预设测试限值，并将超出的标记为瑕疵，得到各个测试项的瑕疵率，并基于瑕疵率计算各个测试项的良率；

筛选出良率低于所述良率基准值的测试项作为待优化测试项，若待优化测试项的数据满足正态分布，则构建出待优化测试项的正态分布图并分析得到关于测试项调整的优化建议，综合瑕疵率、优化建议和正态分布图得到该测试工程的测试报告。

2.根据权利要求1所述的动态优化方法，其特征在于，所述优化建议包括测试限值的调整；

基于待优化测试项的正态分布图确认测试限值是否合理：

若不合理，则根据待优化测试项的正态分布图重新划定测试项的测试限值。

3.根据权利要求2所述的动态优化方法，其特征在于，所述优化建议还包括测试项顺序的调整；

基于各个测试项的瑕疵率调整测试项之间的顺序，以使瑕疵率高的测试项在顺序上优先于瑕疵率低的测试项执行。

4.根据权利要求3所述的动态优化方法，其特征在于，测试工程中的各个测试项以第一序列进行排列，部分测试项之间会存在依赖关系；

所述依赖关系包括在前测试项影响在后测试项的测试，存在依赖关系的测试项之间须按照特定的先后顺序进行排列；

所述测试项顺序的调整具体包括：

基于第一序列，按照瑕疵率从大到小的顺序依次选定一个待优化测试项作为第一测试项进行顺序调整，将测试工程中除第一测试项以外、且位于第一测试项之前的测试项作为第二测试项；

所述顺序调整包括：以第一序列从后往前的顺序，通过逐个判断第二测试项与第一测试项之间是否存在依赖关系，以调整测试工程中第一测试项所处的位置，直至满足预设停止条件，完成第一测试项的位置调整，并更新第一序列；

基于更新后的第一序列，更换待优化测试项作为第一测试项进行位置调整。

5.根据权利要求4所述的动态优化方法，其特征在于，预设停止条件包括：

首次出现第二测试项与第一测试项之间存在依赖关系；

或，完成所有第二测试项的判断均未发现与第一测试项存在依赖关系的第二测试项。

6.根据权利要求4所述的动态优化方法，其特征在于，若第二测试项与第一测试项之间存在依赖关系，则将第一测试项设置于该第二测试项之后，并停止判断；

若第二测试项与第一测试项之间不存在依赖关系，则将第一测试项置于该第二测试项之前，并继续判断。

7.根据权利要求4所述的动态优化方法，其特征在于，所述依赖关系包括直接依赖关系和间接依赖关系，所述直接依赖关系为在前测试项直接影响在后测试项的测试，所述间接依赖关系为在前测试项通过影响中间测试项进而间接影响在后测试项的测试；

若第二测试项与第一测试项之间存在依赖关系，则：

将该第二测试项作为第一测试项的前序测试项；

筛选出与每个前序测试项存在直接或间接依赖关系的第二测试项，并更新到前序测试项中；

将更新后的前序测试项置于第一测试项之前，并继续判断。

8.根据权利要求1所述的动态优化方法，其特征在于，测试工程中涉及的测试项包括Trim测试项；

若Trim测试项为待优化测试项，则优化建议中还包括：

检查算法的实现过程或更换算法；

并重新对Trim测试项所用到的ATE设备相关资源进行精度校准。