[发明专利]一种机械式真空隔离阀以及密封结构

说明书

本发明公开了一种机械式真空隔离阀，属于真空技术，密封圈安装于顶板，底板以及顶板在轴向浮动连接，传动件安装于主体以及密封组件之间，主体通过传动件能够带动密封组件在沿垂直于轴向的横向移动，当主体带动密封组件移动使密封组件移动至极限位置时，主体带动传动件继续移动并使顶板在轴向移动，密封圈封堵被密封元件的连通孔使被密封元件密封；当主体通过传动件带动密封组件反向移动时，顶板在轴向反向移动，密封圈与被密封元件的连通孔分离使被密封元件解封，此时机械式真空隔离阀远离连通孔，不位于连通孔的轴线上。使光路畅通。本发明还涉及包括上述机械式真空隔离阀的密封结构。

技术领域

本发明涉及真空技术，尤其是涉及一种机械式真空隔离阀以及包括上述机械式真空隔离阀的密封结构。

背景技术

真空技术在工业和科学研究中应用广泛，真空按照其压力分为：粗略中空、中度真空、高真空和超高真空。真空隔离阀为真空技术的重要零部件，真空隔离阀起到密封的作用，能够保持腔室内的真空状态。

现有的真空隔离阀在解除被密封元件的真空状态后，真空隔离阀位于被密封元件的连通孔的轴线上，当真空隔离阀用在扫描电子显微镜里时，位于连通孔的轴线上的真空隔离阀遮挡光线，使轴线光路不畅。

发明内容

为了克服现有技术的不足，本发明的目的之一在于提供一种被密封元件解除真空状态时，真空隔离阀不位于连通孔的轴线上的机械式真空隔离阀。

为了克服现有技术的不足，本发明的目的之一在于提供一种被密封元件解除真空状态时，真空隔离阀不位于连通孔的轴线上的密封结构。

本发明的目的之一采用如下技术方案实现：

一种机械式真空隔离阀，包括密封组件，所述密封组件包括密封圈、底板以及顶板，所述密封圈安装于所述顶板，所述底板以及所述顶板在轴向浮动连接，所述机械式真空隔离阀还包括移动组件，所述移动组件包括主体以及传动件，所述传动件安装于所述主体以及所述密封组件之间，所述主体通过所述传动件能够带动所述密封组件在沿垂直于所述轴向的横向移动，当所述主体带动所述密封组件移动使所述密封组件移动至极限位置时，所述主体带动所述传动件继续移动并使所述顶板在轴向移动，所述密封圈封堵被密封元件的连通孔使所述被密封元件密封；当所述主体通过所述传动件带动所述密封组件反向移动时，所述顶板在轴向反向移动，所述密封圈与被密封元件的连通孔分离使所述被密封元件解封，此时所述机械式真空隔离阀远离所述连通孔。

进一步的，所述传动件为滚珠，所述主体设有收容孔，所述滚珠安装于所述收容孔中，所述底板和/或所述顶板设有凹槽，所述主体带动所述密封组件移动时，所述滚珠位于所述凹槽中，所述密封圈封堵被密封元件的连通孔时，所述滚珠脱离所述凹槽。

进一步的，所述凹槽的截面呈V形。

进一步的，所述密封组件还包括弹性件，所述弹性件安装于所述底板以及所述顶板之间，所述弹性件能够使所述顶板复位。

进一步的，所述主体位于所述顶板以及所述底板之间，所述主体包括基部以及两延伸部，两所述延伸部从所述基部延伸而出，两所述延伸部之间形成间隙，所述弹性件位于所述间隙中。

进一步的，所述弹性件包括固定板以及弹片，所述固定板固定于所述顶板，所述弹片安装于所述固定板并与所述顶板抵触。

进一步的，所述固定板包括本体以及固定部，所述固定部由所述本体端部弯折而成，所述固定部与所述顶板固定，所述弹片末端与所述固定部抵触。

进一步的，所述密封组件还包括连接件，所述连接件包括螺钉以及螺母，所述螺钉安装于所述底板并伸入所述固定部，所述螺母与所述螺钉配合使所述底板与所述固定板固定连接，所述螺母位于所述弹片以及所述固定部之间。