[发明专利]一种机械式真空隔离阀以及密封结构

权利要求书

1.一种机械式真空隔离阀，包括密封组件，所述密封组件包括密封圈，其特征在于：所述密封组件还包括底板以及顶板，所述密封圈安装于所述顶板，所述底板以及所述顶板在轴向浮动连接，所述机械式真空隔离阀还包括移动组件，所述移动组件包括主体以及传动件，所述传动件安装于所述主体以及所述密封组件之间，所述主体通过所述传动件能够带动所述密封组件在沿垂直于所述轴向的横向移动，当所述主体带动所述密封组件移动使所述密封组件移动至极限位置时，所述主体带动所述传动件继续移动并使所述顶板在轴向移动，所述密封圈封堵被密封元件的连通孔使所述被密封元件密封；当所述主体通过所述传动件带动所述密封组件反向移动时，所述顶板在轴向反向移动，所述密封圈与被密封元件的连通孔分离使所述被密封元件解封，此时所述机械式真空隔离阀远离所述连通孔。

2.根据权利要求1所述的机械式真空隔离阀，其特征在于：所述传动件为滚珠，所述主体设有收容孔，所述滚珠安装于所述收容孔中，所述底板和/或所述顶板设有凹槽，所述主体带动所述密封组件移动时，所述滚珠位于所述凹槽中，所述密封圈封堵被密封元件的连通孔时，所述滚珠脱离所述凹槽。

3.根据权利要求2所述的机械式真空隔离阀，其特征在于：所述凹槽的截面呈V形。

4.根据权利要求1所述的机械式真空隔离阀，其特征在于：所述密封组件还包括弹性件，所述弹性件安装于所述底板以及所述顶板之间，所述弹性件能够使所述顶板复位。

5.根据权利要求4所述的机械式真空隔离阀，其特征在于：所述主体位于所述顶板以及所述底板之间，所述主体包括基部以及两延伸部，两所述延伸部从所述基部延伸而出，两所述延伸部之间形成间隙，所述弹性件位于所述间隙中。

6.根据权利要求4所述的机械式真空隔离阀，其特征在于：所述弹性件包括固定板以及弹片，所述固定板固定于所述顶板，所述弹片安装于所述固定板并与所述顶板抵触。

7.根据权利要求6所述的机械式真空隔离阀，其特征在于：所述固定板包括本体以及固定部，所述固定部由所述本体端部弯折而成，所述固定部与所述顶板固定，所述弹片末端与所述固定部抵触。

8.根据权利要求6所述的机械式真空隔离阀，其特征在于：所述密封组件还包括连接件，所述连接件包括螺钉以及螺母，所述螺钉安装于所述底板并伸入所述固定部，所述螺母与所述螺钉配合使所述底板与所述固定板固定连接，所述螺母位于所述弹片以及所述固定部之间。

9.根据权利要求1所述的机械式真空隔离阀，其特征在于：所述移动组件还包括导向销，所述导向销安装于所述主体，所述底板和/或所述顶板设有导向槽，所述导向销伸入所述导向槽中，所述主体相对所述密封组件移动时，所述导向销引导所述主体的移动方向。

10.一种密封结构，包括被密封元件，所述被密封元件设有连通孔，其特征在于：所述密封结构还包括导向固定件以及如权利要求1-9任意一项所述的机械式真空隔离阀，所述密封组件与所述导向固定件抵触时到达极限位置，所述密封圈封堵所述被密封元件的连通孔使所述被密封元件密封；当所述主体通过所述传动件带动所述密封组件远离所述导向固定件时，所述顶板在轴向反向移动，所述密封圈与被密封元件的连通孔分离使所述被密封元件解封，此时所述机械式真空隔离阀远离所述连通孔。