[发明专利]一种装载装置及自动物料搬送系统

说明书

本公开提供一种装载装置及自动物料搬送系统，涉及半导体技术领域，装载装置包括升降轨道、第一触发部、第一驱动装置和控制部，升降轨道在第一位置与工作轨道对接，在第二位置与维修装置的维修轨道对接，第一触发部能够与维修装置配合，第一驱动装置在升降轨道处于第二位置时，将升降轨道上的目标装置由装载装置移出至维修装置。本公开中，升降轨道处于第一位置且目标装置位于升降轨道时，控制部能够在第一触发部产生触发信号后，控制升降轨道由第一位置移动至第二位置，控制部在升降轨道运动至第二位置时，能够控制第一驱动装置将目标装置移动至维修装置，实现了自动化输送目标装置，节省劳动力以及避免人工搬运出现安全事故。

技术领域

本公开涉及半导体技术领域，尤其涉及一种装载装置及自动物料搬送系统。

背景技术

自动物料输送设备中的天车需要进行维护、调试，只有将天车从高处的工作轨道移动至维修装置中，才能够对天车进行维护、调试。

相关技术中，需要先将天车下降至自动物料输送设备的底部，然后工作人员手动将天车抬至可移动的维修小车进行调试，在调试完成后，需要工作人员手动将天车移动至自动物料输送设备中，工作人员搬运过程存在安全风险。

发明内容

以下是对本公开详细描述的主题的概述。本概述并非是为了限制权利要求的保护范围。

本公开的第一方面，提供了一种装载装置，用于将目标装置在工作轨道与维修装置之间进行输送，所述装载装置包括：

升降轨道，用于在第一位置和第二位置之间升降，在所述第一位置，所述升降轨道与所述工作轨道对接，在所述第二位置，所述升降轨道与所述维修装置的维修轨道对接；

第一触发部，用于与所述维修装置配合；

第一驱动装置，用于在所述升降轨道处于所述第二位置时，将所述升降轨道上的目标装置由所述装载装置移出至所述维修装置；

控制部，与所述第一触发部、所述第一驱动装置、以及所述升降轨道均连接，所述控制部用于在所述第一触发部产生触发信号时控制所述升降轨道移动至所述第二位置，并控制所述第一驱动装置将所述升降轨道上的目标装置由所述装载装置移出至所述维修装置。

在一些实施例中，所述装载装置上设置有与所述第二位置对应的开口以及用于打开和关闭所述开口的门体，所述控制部与所述门体连接，所述控制部用于在所述第一触发部产生触发信号时控制所述门体保持打开状态。

在一些实施例中，所述开口处设置有第一检测装置，所述第一检测装置与所述控制部连接，所述控制部用于当所述第一检测装置检测到所述开口处有异物时控制所述升降轨道处于静止状态。

在一些实施例中，所述第一检测装置包括设置于所述开口第一侧的信号发射部以及设置于所述开口第二侧的信号接收部，所述信号接收部用于接收所述信号发射部发射的信号，所述控制部用于当所述信号发射部发出信号且所述信号接收部未接收到信号时，控制所述升降轨道处于静止状态。

在一些实施例中，所述装载装置包括第一位置检测装置，所述第一位置检测装置用于检测所述升降轨道的位置，所述控制部与所述第一位置检测装置连接，所述控制部用于在所述第一位置检测装置检测到所述升降轨道移动至所述第二位置时，将所述第一检测装置关闭或者屏蔽所述第一检测装置的检测信号之后，再控制所述第一驱动装置将所述目标装置移出所述维修装置。

在一些实施例中，所述装载装置还包括拨动机构，所述拨动机构设置在所述第一位置和所述第二位置之间，所述拨动机构用于在所述升降轨道由所述第一位置运动至所述第二位置的过程中，将所述升降轨道上的目标装置的电源开关关闭，以及，用于在所述升降轨道由所述第二位置运动至所述第一位置的过程中，将所述升降轨道上的目标装置的电源开关开启。