[发明专利]一种晶圆再生用多角度可调的夹盘

权利要求书

1.一种晶圆再生用多角度可调的夹盘，包括底座（1），其特征在于：还包括限位机构（2）、移位机构（5）、翻转调节机构（6）和调节支撑机构（9），所述限位机构（2）固定安装在底座（1）顶部，所述限位机构（2）包括操作台（23），所述操作台（23）顶部固定安装有上料机构（3），所述上料机构（3）顶部固定安装有支撑防滑机构（4），所述移位机构（5）固定安装在操作台（23）顶部一侧，所述翻转调节机构（6）固定安装在底座（1）顶部使，所述翻转调节机构（6）内侧固定安装有提升机构（7），所述提升机构（7）包括两个分别固定安装在翻转调节机构（6）内侧的合页（71）、固定安装在一个合页（71）一侧的第一固定环（72）、两个分别固定安装在第一固定环（72）两侧的销轴（73）和通过两个销轴（73）铰接与第一固定环（72）一侧的第二固定环（74），所述第二固定环（74）内侧设置有旋转夹持机构（8），所述调节支撑机构（9）设置在翻转调节机构（6）内侧。

2.根据权利要求1所述的一种晶圆再生用多角度可调的夹盘，其特征在于：所述限位机构（2）包括卡槽（21）、卡块（22）和操作台（23），所述卡槽（21）开设在底座（1）顶部，所述卡块（22）配合安装在卡槽（21）内侧，所述操作台（23）固定安装在卡块（22）顶部。

3.根据权利要求2所述的一种晶圆再生用多角度可调的夹盘，其特征在于：所述上料机构（3）包括安装板（31）、丝杆滑台（32）、第一连接块（33）和第一电动推杆（34），所述安装板（31）固定安装在操作台（23）顶部，所述丝杆滑台（32）固定安装在安装板（31）顶部，所述第一连接块（33）固定安装在丝杆滑台（32）的滑动块顶部，所述第一电动推杆（34）固定安装在第一连接块（33）顶部。

4.根据权利要求3所述的一种晶圆再生用多角度可调的夹盘，其特征在于：所述支撑防滑机构（4）包括伸缩套（41）、伸缩杆（44）、防滑垫（47）、多个分别固定安装在伸缩套（41）内部的固定块（42）、多个分别固定安装在伸缩杆（44）顶部两侧的活动块（45）和多个分别配合安装在多个活动块（45）内侧的活动钩（46），每个所述固定块（42）与伸缩杆（44）之间均连接有一个伸缩弹簧（43），所述伸缩套（41）固定安装在第一电动推杆（34）的伸缩端，所述伸缩杆（44）配合安装在伸缩套（41）内侧，所述防滑垫（47）固定安装在多个活动钩（46）一侧。

5.根据权利要求1所述的一种晶圆再生用多角度可调的夹盘，其特征在于：所述移位机构（5）包括安装槽（51）、伺服电机（52）、螺纹杆（53）、第一旋转块（54）和滑台（55），所述安装槽（51）开设在底座（1）顶部一侧，所述伺服电机（52）固定安装在安装槽（51）外侧，所述螺纹杆（53）固定连接在伺服电机（52）的输出端，所述第一旋转块（54）固定安装在螺纹杆（53）一端，所述滑台（55）配合安装在螺纹杆（53）外部。

6.根据权利要求1所述的一种晶圆再生用多角度可调的夹盘，其特征在于：所述翻转调节机构（6）包括两个分别固定安装在底座（1）顶部两侧的第一电动升降套杆（61）、两个分别固定安装在两个第一电动升降套杆（61）的伸缩端的支撑板（62）和两个分别固定安装在两个支撑板（62）一侧的电动转盘（63），所述其中一个第一电动升降套杆（61）固定安装在滑台（55）顶部。

7.根据权利要求1所述的一种晶圆再生用多角度可调的夹盘，其特征在于：所述旋转夹持机构（8）包括两个分别固定安装在第二固定环（74）内壁两侧的安装块（81）、两个分别固定安装在两个安装块（81）一侧的第二旋转块（82）、两个分别固定安装在两个第二旋转块（82）一侧的第二连接块（83）、两个分别固定安装在两个第二连接块（83）一侧的第二电动推杆（84）和两个分别固定安装在两个第二电动推杆（84）的伸缩端的夹块（85）。

8.根据权利要求6所述的一种晶圆再生用多角度可调的夹盘，其特征在于：所述调节支撑机构（9）包括两个分别固定安装在两个支撑板（62）内侧的安装套（91）、多个分别固定安装在两个安装套（91）内部的液压杆（92）、两个分别配合安装在两个安装套（91）内侧的延长板（93）、两个分别固定安装在两个延长板（93）顶部的第二电动升降套杆（94）和两个分别固定安装在两个第二电动升降套杆（94）的伸缩端的推板（95）。