[发明专利]一种双通道石墨舟装卸片一体机在审
申请号: | 202210588374.4 | 申请日: | 2022-05-26 |
公开(公告)号: | CN115050676A | 公开(公告)日: | 2022-09-13 |
发明(设计)人: | 叶石标;施巍;顾建飞;姚波 | 申请(专利权)人: | 浙江艾能聚光伏科技股份有限公司 |
主分类号: | H01L21/677 | 分类号: | H01L21/677;H01L31/18;C23C16/458 |
代理公司: | 浙江永航联科专利代理有限公司 33304 | 代理人: | 俞培锋 |
地址: | 314302 浙江省嘉*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 双通道 石墨 装卸 一体机 | ||
本发明公开了一种双通道石墨舟装卸片一体机,包括两个固定板,两个所述固定板均匀的贯穿设置有第一拉杆,多个所述第一拉杆贯穿设置有多个石墨板,多个所述石墨板靠近端面位置对称贯穿设置有第二拉杆,多个所述第一拉杆分别贯穿多个隔架,多个所述隔架的内部均设置有夹持组件,所述夹持组件包括限位板,所述限位板的侧壁均匀的固定连接有多个定位环,多个所述定位环的内壁均螺纹连接有弹簧。本发明通过对石墨舟的内部连接处设置有防护夹持组件,从而使得在对内部防止的产品进行放入时,能够对其进行稳定,减少对周围石墨的摩擦,从而造成损坏,同时方便对卡合稳定组件进行后期的拆卸更换,提高工作效率。
技术领域
本发明涉及石墨舟装卸片应用技术领域,特别是涉及一种双通道石墨舟装卸片一体机。
背景技术
目前,由于硅在地壳中有着极其丰富的储量,同时晶体硅太阳能电池相比其他的太阳能电池有着优异的电学性能和机械性能,因此,晶体硅太阳能电池在光伏领域占据着重要的地位,在对硅片表面镀膜时,需要将未镀膜的硅片插入PECVD真空镀膜设备的石墨舟上,一般是先镀正面或者背面,镀完单面后再通过自动上下料机将硅片从石墨舟中取出后翻面再镀另一面,正背面分开镀膜导致生产周期过长,生产成本较高。
而传统的石墨舟在使用时,需要将加工的产品放入石墨舟内进行固定,而在对其进行不断的安装和拆卸,从而会对石墨舟进行摩擦,长时间的摩擦会对石墨舟和产品造成损坏,同时还要对其进行更换,提高了成本,因此,本发明提出了一种双通道石墨舟装卸片一体机。
发明内容
本发明所要解决的技术问题是提供一种双通道石墨舟装卸片一体机,通过对石墨舟的内部连接处设置有防护夹持组件,从而使得在对内部防止的产品进行放入时,能够对其进行稳定,减少对周围石墨的摩擦,从而造成损坏,同时方便对卡合稳定组件进行后期的拆卸更换,提高工作效率。
为解决上述技术问题,本发明采用的一个技术方案是:提供一种双通道石墨舟装卸片一体机,包括两个固定板,两个所述固定板均匀的贯穿设置有第一拉杆,多个所述第一拉杆贯穿设置有多个石墨板,多个所述石墨板靠近端面位置对称贯穿设置有第二拉杆,多个所述第一拉杆分别贯穿多个隔架;
多个所述隔架的内部均设置有夹持组件,所述夹持组件包括限位板,所述限位板的侧壁均匀的固定连接有多个定位环,多个所述定位环的内壁均螺纹连接有弹簧,所述限位板的远离定位环的侧壁均匀的固定连接有多个连接柱,多个所述连接柱的端面固定连接有夹块,利用弹簧的反作用力使得限位板带动多个连接柱进行移动,从而带动夹块进行移动,最后对放入的产品进行夹持固定。
两个所述第二拉杆均贯穿设置有隔垫,多个所述隔垫分别与多个石墨板呈相间分布。
通过上述技术方案,便于在端面处进行连接固定,从而方便对整个装置进行使用。
两个所述第二拉杆靠近端面位置贯穿两个固定板靠近端面位置,且通过锁紧螺母进行固定。
通过上述技术方案,用于将固定板和石墨板进行安装固定。
多个所述隔架靠近顶部和底部位置均对称开设有穿孔,多个所述第一拉杆分别通过穿孔贯穿隔架。
通过上述技术方案,便于对隔架进行位置的安装固定。
多个所述弹簧远离限位板的端面分别与隔架的内侧壁呈紧密贴合设置。
通过上述技术方案,便于对弹簧进行位置的定位,从而利用弹簧的发作用力进行夹持运动。
多个所述连接柱分别贯穿隔架的相对侧壁,且与之呈光滑贴合设置。
通过上述技术方案,便于带动夹块对放入的产品进行压紧夹持。
多个所述夹块均呈半圆柱形设置。
通过上述技术方案,便于减少对产品的夹持面积,从而减少摩擦损坏。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
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H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
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