[发明专利]一种双通道石墨舟装卸片一体机在审
申请号: | 202210588374.4 | 申请日: | 2022-05-26 |
公开(公告)号: | CN115050676A | 公开(公告)日: | 2022-09-13 |
发明(设计)人: | 叶石标;施巍;顾建飞;姚波 | 申请(专利权)人: | 浙江艾能聚光伏科技股份有限公司 |
主分类号: | H01L21/677 | 分类号: | H01L21/677;H01L31/18;C23C16/458 |
代理公司: | 浙江永航联科专利代理有限公司 33304 | 代理人: | 俞培锋 |
地址: | 314302 浙江省嘉*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 双通道 石墨 装卸 一体机 | ||
1.一种双通道石墨舟装卸片一体机,包括两个固定板(1),其特征在于:两个所述固定板(1)均匀的贯穿设置有第一拉杆(2),多个所述第一拉杆(2)贯穿设置有多个石墨板(3),多个所述石墨板(3)靠近端面位置对称贯穿设置有第二拉杆(5),多个所述第一拉杆(2)分别贯穿多个隔架(6);
多个所述隔架(6)的内部均设置有夹持组件,所述夹持组件包括限位板(7),所述限位板(7)的侧壁均匀的固定连接有多个定位环(71),多个所述定位环(71)的内壁均螺纹连接有弹簧(72),所述限位板(7)的远离定位环(71)的侧壁均匀的固定连接有多个连接柱(73),多个所述连接柱(73)的端面固定连接有夹块(74)。
2.根据权利要求1所述的一种双通道石墨舟装卸片一体机,其特征在于:两个所述第二拉杆(5)均贯穿设置有隔垫(4),多个所述隔垫(4)分别与多个石墨板(3)呈相间分布。
3.根据权利要求1所述的一种双通道石墨舟装卸片一体机,其特征在于:两个所述第二拉杆(5)靠近端面位置贯穿两个固定板(1)靠近端面位置,且通过锁紧螺母进行固定。
4.根据权利要求1所述的一种双通道石墨舟装卸片一体机,其特征在于:多个所述隔架(6)靠近顶部和底部位置均对称开设有穿孔(61),多个所述第一拉杆(2)分别通过穿孔(61)贯穿隔架(6)。
5.根据权利要求1所述的一种双通道石墨舟装卸片一体机,其特征在于:多个所述弹簧(72)远离限位板(7)的端面分别与隔架(6)的内侧壁呈紧密贴合设置。
6.根据权利要求1所述的一种双通道石墨舟装卸片一体机,其特征在于:多个所述连接柱(73)分别贯穿隔架(6)的相对侧壁,且与之呈光滑贴合设置。
7.根据权利要求1所述的一种双通道石墨舟装卸片一体机,其特征在于:多个所述夹块(74)均呈半圆柱形设置。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
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H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
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H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
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