[发明专利]用于半导体物料仓储设备的SECSGEM通讯转换系统及方法

说明书

本发明提供了一种用于半导体物料仓储设备的SECSGEM通讯转换系统及方法，系统包括：仓储系统对接的上位系统层，用于接收仓储系统反馈的搬运信息和状态信息，以及发送业务命令和信息；服务层，所述服务层与所述仓储系统对接的上位系统层通讯连接，用于对所述仓储系统对接的上位系统层发送的业务命令和信息进行监听及分类整理，对不同类型的业务命令和信息分别进行逻辑判断，并执行对应操作，最后将执行结果上报至所述仓储系统对接的上位系统层。本发明可满足多种设备通讯兼容性，能够快速集成、降低运维成本。

技术领域

本发明涉及半导体制造过程中物料自动化仓储技术领域，具体涉及一种用于半导体物料仓储设备的SECSGEM通讯转换系统及方法。

背景技术

随着集成电路在日常生活中的普遍应用，半导体产品的需求相对也大幅提升，为了满足集成电路的大量需求，大部分的半导体制造企业都以提高产能及合格率为优先目标。在半导体制造企业中，晶片通常是采用批量的搬运方式，然而通过人力搬运不仅效率低，也容易发生危险、且搬运过程中存在芯片污染、芯片碰撞破碎等不确定因素。为解决人工搬运所带来的风险及不确定因素，自动物料搬运系统(AMHS：Automatic MaterialHandling System)应运而生，并且已经广泛应用在半导体制造行业中。

自动物料搬运系统(AMHS)又包括自动仓储柜(STOCKER)、工业搬送机器人(如自动导航车，即AGV；工程间搬送小车等)及相关控制系统，这些系统都与物料控制系统(MCS：Material Control System)进行交互，针对不同功能设备有不同的通讯内容。在半导体制造业中，目前国内外的设备自动化联网通讯协议均基于国际半导体设备与材料协会(SEMI)制定的连接性标准SECSGEM协议，但是每种设备的系统都要客制化，做到兼容多种设备要造成很大的开发成本和运维成本，并且开发周期长、实施成本和学习成本高。

发明内容

有鉴于此，本发明提供了一种用于半导体物料仓储设备的SECSGEM通讯转换系统及方法，以达到满足多种设备通讯兼容性、快速集成、降低运维成本的目的。

本申请提供以下技术方案：一种用于半导体物料仓储设备的SECSGEM通讯转换系统，包括：

仓储系统对接的上位系统层，用于接收仓储系统反馈的搬运信息和状态信息，以及发送业务命令和信息；

服务层，所述服务层与所述仓储系统对接的上位系统层通讯连接，用于对所述仓储系统对接的上位系统层发送的业务命令和信息进行监听及分类整理，对不同类型的业务命令和信息分别进行逻辑判断，并执行对应操作，最后将执行结果上报至所述仓储系统对接的上位系统层。

根据本申请实施例的一种实施方式，所述服务层包括：

状态管理模块，用于采集所述业务命令和信息中的状态，所述状态包括仓储系统的控制命令、仓储系统中的存储状态以及仓储系统的报错状态，并实时进行状态的切换变更和推送；

问询类消息模块，用于处理所述业务命令和信息中的问询类消息，所述问询类消息包括仓储设备主动问询的存储货位消息和仓储系统在线消息；

控制类消息传递模块，用于处理所述业务命令和信息中的控制类消息，所述控制类消息包括仓储系统中货位搬运的控制消息，以及远程控制仓储系统进行状态切换的控制消息；

事件上报模块，用于对所述状态管理模块、所述问询类消息模块和所述控制类消息传递模块中的消息进行统一管理，并进行消息数据的上报；

接收消息反馈模块，用于对所述仓储系统对接的上位系统层发送的业务命令和信息进行监听，并将监听到的业务命令和信息反馈至所述状态管理模块。

根据本申请实施例的一种实施方式，所述服务层还包括：

连接控制模块，用于对所述仓储系统对接的上位系统层和服务层之间的通信状态进行管理。