[发明专利]掩模护膜、掩模护膜移除方法以及掩模护膜移除装置

说明书

本发明属于掩模保护领域，尤其涉及一种掩模护膜、掩模护膜移除方法以及掩模护膜移除装置，其中，掩模护膜包括支撑框以及保护膜，所述支撑框呈环形并具有在中心轴线延伸方向相对设置的抵靠面以及装膜面，所述抵靠面以及装膜面均呈环形，所述抵靠面分为均呈环形的粘接平面以及导流斜面，所述粘接平面开设有多个吸胶孔，所述支撑框开设有与各所述吸胶孔连通的排气通道，所述排气通道于外环面开设有一个排气孔。将掩模护膜从掩模版移除之后，掩模版上不会残留有粘胶。

技术领域

本发明属于掩膜保护领域，尤其涉及一种掩模护膜、掩模护膜移除方法以及掩模护膜移除装置。

背景技术

掩模版在未使用的时候，需要用掩模护膜遮盖其掩膜图形面，避免灰尘(dust)或者微尘粒子(Particle)落到掩膜图形面，其中，掩模护膜包括支撑框以及保护膜，支撑框呈环形并具有在中心轴线延伸方向相对设置的抵靠面以及装膜面，抵靠面以及装膜面均呈环形，保护膜连接于装膜面，并封堵装膜面围合形成的环口，抵靠面通过双面胶与掩模版粘接。基于此，在移除掩模护膜时，通常是采用直接起撬支撑框，但采用此方法，双面胶上的粘胶容易残留于掩模版。

发明内容

本发明的目的在于克服上述现有技术的不足，提供了一种掩模护膜、掩模护膜移除方法以及掩模护膜移除装置，其旨在解决移除掩模护膜时双面胶上的粘胶容易残留于掩模版的问题。

本发明是这样实现的：

一种掩模护膜，包括支撑框以及保护膜，所述支撑框呈环形并具有在中心轴线延伸方向相对设置的抵靠面以及装膜面，所述抵靠面以及装膜面均呈环形，所述抵靠面分为均呈环形的粘接平面以及导流斜面，所述粘接平面包括开设有多个吸胶孔，所述支撑框开设有与各所述吸胶孔连通的排气通道，所述排气通道于外环面开设有一个排气孔，所述排气孔用于与外部负压发生机构连通，各所述吸胶孔均与所述排气孔中连通，其中，各所述吸胶孔间隔设置，且均布于所述粘接平面，各所述吸胶孔的孔口直径0.8mm-1.2mm，任意两所述吸胶孔之间的最小间距为1.5-2mm，所述导流斜面位于所述粘接平面外环侧，所述导流斜面朝所述装膜面倾斜设置，所述保护膜连接于所述装膜面，并封堵所述装膜面围合形成的环口。

可选地，所述吸胶孔的孔径沿所述粘接平面指向所述安装面的方向减缩设置。

本发明还提供一种掩模护膜移除方法，用于将掩模护膜从掩模版上移除，其中，所述掩模护膜为上述的掩模护膜，所述粘接平面与所述掩模版之间通过双面胶粘接，所述双面胶从所述粘接平面延伸至所述导流斜面，该移除方法包括以下步骤：

溶胶：向所述导流斜面和所述掩模版之间的间隙注入溶胶剂，并使所述溶胶剂逐渐渗入到所述双面胶和所述掩模版之间；

吸胶：通过负压发生机构于所述排气孔处产生负压，使所述双面胶中与各所述吸胶孔对应的部分凸入对应的所述吸胶孔；

固胶：向所述导流斜面和所述掩模版之间的间隙喷射液氮，并使双面胶固化；

移除：将所述掩模护膜从所述掩模版移除。

可选地，在溶胶步骤中，使所述掩模版和所述掩模护膜倾斜，并使所述掩模版和所述掩模护膜绕所述掩模版的中心轴线转动，且从上往下向所述导流斜面和所述掩模版之间的间隙注入溶胶剂。

可选地，在固胶步骤中，使所述掩模版和所述掩模护膜倾斜，并使所述掩模版和所述掩模护膜绕所述掩模版的中心轴线转动，且从上往下向所述导流斜面和所述掩模版之间的间隙喷射液氮。

可选地，在溶胶步骤中，对所述掩模护膜施加远离所述掩模版的预离力。