[发明专利]用于激光雷达的光罩及其制备方法、激光雷达

权利要求书

1.一种用于激光雷达的光罩，所述激光雷达包括光罩固定部，所述光罩安装于所述光罩固定部，所述光罩包括：

本体，具有内表面以及与内表面相对的外表面；

第一透光导电膜，设置在所述本体上，覆盖所述内表面或外表面，所述第一透光导电膜与所述光罩固定部连接导通，使所述激光雷达能屏蔽电磁干扰。

2.根据权利要求1所述的光罩，其中所述第一透光导电膜包括第一增透光学层和第一半导体透明导电层，当所述第一透光导电膜覆盖于所述本体的内表面时，所述第一增透光学层设置在所述第一半导体透明导电层外侧；当所述第一透光导电膜覆盖所述本体的外表面时，所述第一增透光学层设置在所述第一半导体透明导电层内侧。

3.根据权利要求2所述的光罩，其中所述第一增透光学层的表面积小于所述第一半导体透明导电层的表面积，并且与所述光罩上的所述激光雷达探测光束的扫描范围对应设置。

4.根据权利要求2所述的光罩，其中所述第一半导体透明导电层的面电阻不超过200欧姆。

5.根据权利要求4所述的光罩，其中所述第一半导体透明导电层的面电阻在50-130欧姆之间。

6.根据权利要求1所述的光罩，还包括：

第一硬化膜，设置在所述本体的外表面，配置为保护所述本体和/或第一透光导电膜。

7.根据权利要求6所述的光罩，当所述第一透光导电膜覆盖所述本体的内表面时，所述第一硬化膜覆盖所述本体的外表面；当所述第一透光导电膜覆盖所述本体的外表面时，所述第一硬化膜覆盖所述第一透光导电膜。

8.根据权利要求6所述的光罩，还包括：

第二硬化膜，设置在所述本体的内表面，并且当所述第一透光导电膜覆盖所述本体的内表面时，所述第二硬化膜覆盖所述第一透光导电膜；当所述第一透光导电膜覆盖所述本体的外表面时，所述第二硬化膜覆盖所述本体内表面。

9.根据权利要求1-8中任一项所述的光罩，其中所述本体具有上端和下端，所述光罩还包括：

第一遮蔽结构，靠近所述本体的下端设置，并沿所述本体的外表面向外凸起，当所述光罩安装于所述光罩固定部上时，所述第一遮蔽结构遮蔽所述光罩与所述光罩固定部之间的空隙。

10.根据权利要求9所述的光罩，其中所述光罩固定部的上端设有第二连接结构，所述光罩还包括：

第一连接结构，设置于所述第一遮蔽结构与所述本体的下端之间，与所述光罩固定部的第二连接结构相互卡合。

11.根据权利要求1-8中任一项所述的光罩，还包括：

顶盖，设置于所述本体的上端，具有下表面以及与下表面相对的上表面。

12.根据权利要求11所述的光罩，还包括：

第二导电膜，覆盖于所述顶盖的下表面，所述第二导电膜与所述第一透光导电膜连接导通。

13.根据权利要求12所述的光罩，其中所述第二导电膜的面电阻不超过200欧姆。

14.根据权利要求13所述的光罩，其中所述第二导电膜的面电阻在50-130欧姆之间。

15.根据权利要求11所述的光罩，其中所述顶盖还包括第二遮蔽结构，靠近所述本体的上端设置，并从所述顶盖的下表面向所述本体的上端凸起，当所述顶盖安装于所述本体上时，所述第二遮蔽结构遮蔽所述顶盖与所述本体之间的空隙。

16.根据权利要求11所述的光罩，其中所述顶盖与所述本体为一体构造，并且所述顶盖和所述本体具有不同的反射率，所述第一透光导电膜覆盖所述本体以及所述顶盖的内表面或外表面，所述第一硬化膜覆盖所述本体和所述顶盖的外表面。