[发明专利]超低介电损耗球形二氧化硅微粉的制备方法

权利要求书

1.超低介电损耗球形二氧化硅微粉的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：

步骤1，在干燥的氧化剂的气氛下，将球形二氧化硅微粉先在150~300℃下处理3~24h ，再在800~1200℃下处理24~90h，所述的氧化剂选自氧气、富氧空气或臭氧，所述的球形二氧化硅微粉采用火焰成球法制备，具体步骤如下：

以纯度99.9%以上、金属氧化物总含量在100ppm以下的二氧化硅粉末或硅溶胶为原料，以氧气作为载气，1~5个碳的烷烃或H₂作为可燃气体，氧气为助燃剂，分别导入反应容器中，点燃，在2400~3200℃的火焰高温下，粉末经过高温融化、冷却成球，形成球形二氧化硅微粉；

步骤2，将步骤1处理后的球形二氧化硅微粉在非极性气体氛围下冷却至室温，非极性气体选自氩气、氦气、氖气、氮气、氧气或二氧化碳；

步骤3，将冷却后的二氧化硅微粉充惰性气体包装，惰性气体选自氮气、氩气、氦气或氖气。

2.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，步骤1中，球形二氧化硅微粉的中位粒径D50为0.1~150μm，球形度＞0.99。

3. 根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，步骤1中，球形二氧化硅微粉先在250~300℃下处理10~24h ，再在1100~1200℃下处理48~90h。

4.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，步骤2中，室温为10~30℃。