[发明专利]一种低氧钼铌合金靶材生产线及其工艺流程

权利要求书

1.一种低氧钼铌合金靶材生产线，包括混料机（1）和冷等静压机（2），其特征在于：所述混料机（1）设有混料罐（3），混料罐（3）设有排料管（4），冷等静压机（2）设有工作缸（5），混料机（1）与冷等静压机（2）之间设有导轨（6），导轨（6）滑动连接有输送板（7），导轨（6）连接有驱动输送板（7）移动的第一液压缸（8），输送板（7）上设有与排料管（4）相配合的橡胶套（9），工作缸（5）内固设有与橡胶套（9）相配合的外壳，橡胶套（9）上端设有开口，导轨（6）固定连接有支撑架（11），支撑架（11）上设有封口组件（12）和吊装组件（13），封口组件（12）连接有封闭开口的夹板（14），夹板（14）包括左板（15）和右板（16），左板（15）与右板（16）卡接，吊装组件（13）包括第二液压缸（17）、第一竖杆（18）和电磁夹块（19），第二液压缸（17）固设于支撑架（11）上，第二液压缸（17）输出端与第一竖杆（18）固定连接，第一竖杆（18）与电磁夹块（19）固定连接，电磁夹块（19）与夹板（14）相配合；所述支撑架（11）固定连接有竖板（20），竖板（20）转动连接有齿轮（21），第一竖杆（18）固定连接有与齿轮（21）相啮合的第一齿条（22），封口组件（12）包括锥形块、两个滚轮（24）、第一转杆（25）和第二转杆（26），锥形块上端部固定连接有第二竖杆（27），第二竖杆（27）固定连接有与齿轮（21）相啮合的第二齿条（28），支撑架（11）开设有与第二竖杆（27）相配合的限位槽（29），锥形块两侧设有与滚轮（24）相配合的倾斜部（30），第一转杆（25）上端部与滚轮（24）转动连接，第一转杆（25）下端部开设有与左板（15）相配合的第一卡槽（31）；第二转杆（26）上端部与另一个滚轮（24）转动连接，第二转杆（26）下端部开设有与右板（16）相配合的第二卡槽（32）；支撑架（11）固定连接有支撑板（33），第一转杆（25）和第二转杆（26）均与支撑板（33）转动连接，第一转杆（25）和第二转杆（26）之间固设有弹簧（34）；所述倾斜部（30）开设有与滚轮（24）相配合的定位槽（35）；所述左板（15）上端部沿长度方向固设有若干磁块（36），右板（16）上端部开设有若干与磁块（36）相配合的磁槽（37）。

2.根据权利要求1所述的一种低氧钼铌合金靶材生产线，其特征在于：所述输送板（7）设有定位套板（38），定位套板（38）设有与橡胶套（9）相配合的限位腔。

3.根据权利要求2所述的一种低氧钼铌合金靶材生产线，其特征在于：所述输送板（7）下端部固设有第一电机（39），第一电机（39）输出轴固定连接有菱形块（40），菱形块（40）两个锐角端分别转动连接有连接杆（41），输送板（7）滑动连接有第一滑板（42）和第二滑板（43），其中一个连接杆（41）与第一滑板（42）下端部转动连接，另外一个连接杆（41）与第二滑板（43）下端部转动连接，定位套板（38）包括相互配合的第一套板（44）和第二套板（45），第一套板（44）与第一滑板（42）固定连接，第二套板（45）与第二滑板（43）固定连接。

4.根据权利要求1所述的一种低氧钼铌合金靶材生产线，其特征在于：所述混料罐（3）设有加料口（46），混料机（1）固设有第二电机（47），第二电机（47）输出轴固定连接有位于混料罐（3）内的搅拌轴（48），搅拌轴（48）沿长度方向固设有若干固定环（49），相邻的固定环（49）之间设有螺旋搅拌片（50）。

5.根据权利要求4所述的一种低氧钼铌合金靶材生产线，其特征在于：所述螺旋搅拌片（50）固设有与混料罐（3）内壁相配合的刮料板（51）。

6.一种低氧钼铌合金靶材工艺流程针对如权利要求1至5任一所述的一种低氧钼铌合金靶材生产线，其特征在于：

S1；将钼粉放在真空烧结炉中进行热处理以降低钼粉的氧含量，处理温度为1000-1300℃，时间为0.5-6h；

S2；将铌金属粉与钾金属的卤化物均匀混合得到混合粉；

S3；将步骤一中得到钼粉与步骤二得到的混合粉放入混料机（1）的混料罐（3）中混合，混合结束后将制得的钼铌合金粉倒入输送板（7）上的橡胶套（9）内，第一液压缸（8）带动输送板（7）移动到支撑架（11）下方，由封口组件（12）对橡胶套（9）的开口进行封口，再由第二液压缸（17）带动第一竖杆（18）下移，进而电磁夹块（19）卡在夹板（14）上，电磁夹块（19）通电后将夹板（14）和橡胶套（9）吊起，再通过第二液压缸（17）输出端伸长，将橡胶套（9）放入冷等静压机（2）工作缸（5）的外壳内，通过冷等静压压制成型；

S4；将压锭放在真空-氢气两用烧结炉中进行热处理，在350～1200℃的还原性或惰性气氛下进行热处理，热处理时间0.5-6h；在1200℃～1500℃真空下热处理以除去剩余钾金属的卤化物和氢气，根据真空泵的抽速不同，该时间为1～6h，此过程铌粉中的氧含量降低；

S5；对压锭进行真空抽气除杂，将除杂后的压锭通过热等静压压制，压制温度为1300-1500℃，压强大于100MPa，压制时间3～6h；

S6；压延和机械加工得到所需尺寸的溅射靶材，在得到钼铌烧结锭之后，对其进行压延加工，在轧制的情况下，轧制温度为500-1500℃，每次工作比为10％-30％。