[发明专利]还原炉钟罩内表面银层的制备方法、还原炉钟罩和还原炉有效

专利信息
申请号: 202210329320.6 申请日: 2022-03-30
公开(公告)号: CN114657549B 公开(公告)日: 2023-05-26
发明(设计)人: 谢迎春;黄仁忠;王高民;俞泽新;邓春明 申请(专利权)人: 广东省科学院新材料研究所
主分类号: C23C24/04 分类号: C23C24/04;C23F15/00;C30B28/04;C30B29/06;C01B33/03;C01B33/035
代理公司: 北京超凡宏宇专利代理事务所(特殊普通合伙) 11463 代理人: 何兰兰
地址: 510650 广*** 国省代码: 广东;44
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摘要:
搜索关键词: 还原 炉钟罩内 表面 制备 方法 炉钟罩
【权利要求书】:

1.一种还原炉钟罩内表面银层的制备方法,其特征在于,包括:采用电磁感应加热系统对钟罩内壁进行预热,之后利用拉法尔喷嘴向加热软化之后的钟罩内表面高速喷射低温银粉颗粒的同时,对钟罩内形成的银层表面进行照射以使生成的氧化银气化;

采用所述电磁感应加热系统将钟罩内壁预热至1200-1300℃,再利用拉法尔喷嘴向钟罩内表面喷射银粉颗粒,利用激光清洗头在已形成银层表面进行照射,以使氧化银气化;

控制所述银粉颗粒的碰撞速度为700-800m/s,且粉末不经预热,并在拉法尔喷嘴中完成降温过程,以低于室温条件下喷出;所述银粉颗粒的粒径为5-25μm;

所述激光清洗头是在开始新一轮沉积前,对旧银层待搭接区域进行照射,进而去除新旧银层搭接处的氧化银;所述激光清洗头为高能激光清洗头,所述高能激光清洗头的激光功率为2 KW-6 KW,频率为400 KHz-600 KHz。

2.根据权利要求1所述的制备方法,其特征在于,控制所述电磁感应加热系统的工作频率大于200Hz,功率为90-110KW。

3.根据权利要求2所述的制备方法,其特征在于,控制所述电磁感应加热系统的工作频率为250-300Hz。

4.根据权利要求1所述的制备方法,其特征在于所述银粉颗粒的纯度大于99.9%,氧含量小于500ppm。

5.根据权利要求2-4中任一项所述的制备方法,其特征在于,将所述钟罩安装于钟罩转台,使所述钟罩在喷涂过程中进行转动;

将所述电磁感应加热系统的电磁感应加热盘、所述拉法尔喷嘴和所述激光清洗头连接于机械手上,以使三者联动并具有相同的移动轨迹和速度;

控制所述拉法尔喷嘴相对于所述钟罩内表面以450-550mm/s的速度匀速移动。

6.根据权利要求5所述的制备方法,其特征在于,所述电磁感应加热盘的加热区域为18-23mm的圆形,所述拉法尔喷嘴的出口直径为11-13mm,所述拉法尔喷嘴与所述电磁感应加热盘的间距为9-11mm。

7.根据权利要求6所述的制备方法,其特征在于,所述电磁感应加热盘是采用中空铜制金属管圈,并在圆盘状的中心设置永磁体。

8.根据权利要求1所述的制备方法,其特征在于,对所述钟罩内表面进行预热之前依次进行一次清洗、打磨、二次清洗和干燥。

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