[发明专利]MEMS振镜状态检测方法及MEMS激光雷达

权利要求书

1.一种MEMS振镜状态检测方法，其特征在于，包括：

获取MEMS振镜振动时的声音信号；

确定所述声音信号在时域内的幅值；

若所述幅值在设定范围内，则根据所述声音信号的频率与参考声音信号的参考频率的关系，以及采集所述声音信号时所述MEMS振镜所属的MEMS激光雷达内的第一温度，确定所述MEMS振镜的工作状态，所述工作状态包括正常工作或异常。

2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，根据所述声音信号的频率与参考声音信号的参考频率的关系，以及采集所述声音信号时所述MEMS振镜所属的MEMS激光雷达内的第一温度，确定所述MEMS振镜的工作状态，包括：

若所述声音信号中存在频率与所述参考频率的差值小于或等于第一预设值的信号，或，若所述声音信号中存在频率与所述参考频率的差值小于或等于第二预设值的信号，且根据所述第一温度对所述声音信号的频率进行校准后，校准后的声音信号中存在频率与所述参考频率的差值小于或等于第一预设值的信号，确定所述MEMS振镜的工作状态为正常工作，所述第二预设值大于所述第一预设值。

3.根据权利要求1或2所述的方法，其特征在于，所述异常包括需要维护或损坏，根据所述声音信号的频率与参考声音信号的参考频率的关系，以及采集所述声音信号时所述MEMS振镜所属的MEMS激光雷达内的第一温度，确定所述MEMS振镜的工作状态，包括：

若所述声音信号中存在频率与所述参考频率的差值小于或等于第二预设值的信号，且根据所述第一温度对所述声音信号的频率进行校准后，校准后的声音信号中不存在频率与所述参考频率的差值小于或等于第一预设值的信号，确定所述MEMS振镜的工作状态为需要维护；

若所述声音信号中不存在频率与所述参考频率的差值小于或等于第二预设值的信号，确定所述MEMS振镜工作状态为需要维护或损坏。

4.根据权利要求3所述的方法，其特征在于，若所述声音信号中不存在频率与所述参考频率的差值小于或等于第二预设值的信号，确定所述MEMS振镜的工作状态为需要维护或损坏，包括：

若所述声音信号中不存在频率与所述参考频率的差值小于或等于第二预设值的信号，判断所述声音信号中是否存在频率与所述参考频率的差值小于或等于第三预设值的信号，所述第三预设值大于所述第二预设值；

若所述声音信号中存在频率与所述参考频率的差值小于或等于第三预设值的信号，且根据所述第一温度对所述声音信号的频率进行校准后，校准后的声音信号中存在频率与所述参考频率的差值小于或等于第一预设值的信号，确定所述MEMS振镜的工作状态为需要维护；

若所述声音信号中存在频率与所述参考频率的差值小于或等于第三预设值的信号，且根据所述第一温度对所述声音信号的频率进行校准后，校准后的声音信号中不存在频率与所述参考频率的差值小于或等于第一预设值的信号，或，若所述声音信号中不存在频率与所述参考频率的差值小于或等于第三预设值的信号，确定所述MEMS振镜的工作状态为损坏。

5.根据权利要求2所述的方法，其特征在于，所述参考声音信号是所述MEMS振镜在预设时段振动时的声音信号，所述预设时段是所述MEMS激光雷达首次上电后的预设时长内。

6.根据权利要求2所述的方法，其特征在于，根据所述第一温度对所述声音信号的频率进行校准，包括：

根据在所述预设时段采集的所述MEMS激光雷达内的参考温度、所述声音信号的频率、第一温度，以及预设的温度与频率的线性关系，对所述声音信号的频率进行校准。

7.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，获取MEMS振镜振动时的声音信号，包括：

获取声音信号；

若所述声音信号的预设频段内存在能量大于预设能量的信号，确定所述声音信号是MEMS振镜振动时的声音信号。

8.根据权利要求7所述的方法，其特征在于，所述方法还包括：

若所述声音信号的预设频段内不存在能量大于预设能量的信号，确定所述MEMS振镜停止振动。