[发明专利]一种基于成像的对准方法、装置、电子设备及存储介质在审

专利信息
申请号: 202210302912.9 申请日: 2022-03-24
公开(公告)号: CN114637339A 公开(公告)日: 2022-06-17
发明(设计)人: 张天奇;曾歆然;魏祥英;武震;李星辰;高爱梅;李欢 申请(专利权)人: 北京半导体专用设备研究所(中国电子科技集团公司第四十五研究所)
主分类号: G05D3/12 分类号: G05D3/12
代理公司: 北京超凡宏宇专利代理事务所(特殊普通合伙) 11463 代理人: 高燕
地址: 100176 北京*** 国省代码: 北京;11
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摘要:
搜索关键词: 一种 基于 成像 对准 方法 装置 电子设备 存储 介质
【说明书】:

本申请提供了一种基于成像的对准方法、装置、电子设备及存储介质,生成第一位置控制信号并发送给运动台,使位于运动台上的待测物的目标面移动至第一位置控制信号所指示的第一位置;获取第一图像,确定目标面的第一位置信息,以生成第二位置控制信号并发送给运动台,使目标面移动至第二位置控制信号所指示的第二位置;获取第二图像,第二倍数大于第一倍数,确定目标面的第二位置信息,以生成第三位置控制信号并发送给运动台,使目标面的成像对准第二传感器的视场中心,用于包括多个不同放大倍数的放大成像光路的光学系统对待测物进行成像时,精确、快捷的将待测物的成像与视场范围较小的传感器的视场中心对准。

技术领域

本申请涉及光学技术领域,具体而言,涉及一种基于成像的对准方法、装置、电子设备及存储介质。

背景技术

现有技术中,在光学系统拥有多个不同倍数的放大成像光路时,由于放大倍数不同导致用于获取不同放大倍数的成像的传感器的视场范围也不同,因此在使用上述光学系统对待测物进行成像时,不能保证待测物的呈像同时位于多个传感器的视场范围内,因此需要一种精确、快捷的对准方法,以将待测物的成像与视场范围较小的传感器的视场中心对准。

发明内容

有鉴于此,本申请的目的在于提供一种基于成像的对准方法、装置、电子设备及存储介质,用于包括多个不同放大倍数的放大成像光路的光学系统对待测物进行成像时,精确、快捷的将待测物的成像与视场范围较小的传感器的视场中心对准。

第一方面,本申请实施例提供一种基于成像的对准方法,包括:响应启动指令,生成第一位置控制信号并发送给运动台,使位于运动台上的待测物的目标面移动至第一位置控制信号所指示的第一位置;获取第一位置下目标面经过光学系统放大第一倍数后的第一图像,确定目标面的第一位置信息,以生成第二位置控制信号并发送给运动台,使目标面移动至第二位置控制信号所指示的第二位置;获取第二位置下目标面经过光学系统放大第二倍数后的第二图像,第二倍数大于第一倍数,确定目标面的第二位置信息,以生成第三位置控制信号并发送给运动台,使目标面的成像对准第二传感器的视场中心。

优选地,目标面上设置有预设标记,目标面的位置信息指示预设标记的中心点坐标,通过以下方式确定目标面的位置信息:根据图像中与预设标记对应的目标区域图像,生成第一离散信号和第二离散信号,其中,第一离散信号表示目标区域图像中每一列像素点的灰度值之和,第二离散信号表示目标区域图像中每一行像素点的灰度值之和;针对每个离散信号,分别确定出该离散信号的两个波峰坐标点,以及每个波峰坐标点对应的预设数量的样本坐标点;针对每个波峰坐标点,基于该波峰坐标点对应的预设数量的样本坐标点,生成该波峰坐标点对应的曲线方程;根据该波峰坐标点对应的曲线方程,确定中心点坐标。

优选地,通过以下方式生成第一离散信号和第二离散信号:确定目标区域图像的每个像素点的灰度值,以生成灰度矩阵;将灰度矩阵中每一列像素点的和作为纵坐标,将该列的列号作为横坐标,以生成第一离散信号;将灰度矩阵中每一行像素点的和作为纵坐标,将该行的行号作为横坐标,以生成第二离散信号。

优选地,通过以下方式确定每个波峰坐标点对应的预设数量的样本坐标点:根据当前波峰坐标点确定出第一横坐标;基于第一横坐标,按照第一预设步长确定出第二横坐标和第三横坐标,第二横坐标小于第一横坐标,第一横坐标小于第三横坐标,以及基于第一横坐标,按照第二预设步长确定出第四横坐标和第五横坐标,第四横坐标小于第二横坐标,第三横坐标小于第五横坐标,第一预设步长小于第二预设步长;分别确定出每个横坐标在当前波峰坐标点对应的离散信号上的五个样本坐标点。

优选地,曲线方程包括第一系数和第二系数,根据该波峰坐标点对应的曲线方程,确定中心点坐标的步骤,具体包括:根据该波峰坐标点对应的曲线方程的第一系数和第二系数,按照标记值计算公式计算该波峰坐标点对应的标记值;根据所有波峰坐标点对应的标记值,生成中心点坐标。

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