[发明专利]一种基于成像的对准方法、装置、电子设备及存储介质在审

专利信息
申请号: 202210302912.9 申请日: 2022-03-24
公开(公告)号: CN114637339A 公开(公告)日: 2022-06-17
发明(设计)人: 张天奇;曾歆然;魏祥英;武震;李星辰;高爱梅;李欢 申请(专利权)人: 北京半导体专用设备研究所(中国电子科技集团公司第四十五研究所)
主分类号: G05D3/12 分类号: G05D3/12
代理公司: 北京超凡宏宇专利代理事务所(特殊普通合伙) 11463 代理人: 高燕
地址: 100176 北京*** 国省代码: 北京;11
权利要求书: 查看更多 说明书: 查看更多
摘要:
搜索关键词: 一种 基于 成像 对准 方法 装置 电子设备 存储 介质
【权利要求书】:

1.一种基于成像的对准方法,其特征在于,所述对准方法包括:

响应启动指令,生成第一位置控制信号并发送给运动台,使位于所述运动台上的待测物的目标面移动至第一位置控制信号所指示的第一位置;

获取第一位置下目标面经过光学系统放大第一倍数后的第一图像,确定目标面的第一位置信息,以生成第二位置控制信号并发送给所述运动台,使所述目标面移动至第二位置控制信号所指示的第二位置;

获取第二位置下目标面经过所述光学系统放大第二倍数后的第二图像,所述第二倍数大于所述第一倍数,确定目标面的第二位置信息,以生成第三位置控制信号并发送给运动台,使所述目标面的成像对准第二传感器的视场中心。

2.根据权利要求1所述的对准方法,其特征在于,目标面上设置有预设标记,所述目标面的位置信息指示预设标记的中心点坐标,通过以下方式确定目标面的中心点坐标:

根据图像中与预设标记对应的目标区域图像,生成第一离散信号和第二离散信号,其中,所述第一离散信号表示目标区域图像中每一列像素点的灰度值之和,所述第二离散信号表示目标区域图像中每一行像素点的灰度值之和;

针对每个离散信号,分别确定出该离散信号的两个波峰坐标点,以及每个波峰坐标点对应的预设数量的样本坐标点;

针对每个波峰坐标点,基于该波峰坐标点对应的预设数量的样本坐标点,生成该波峰坐标点对应的曲线方程;

根据该波峰坐标点对应的曲线方程,确定中心点坐标。

3.根据权利要求2所述的对准方法,其特征在于,通过以下方式生成第一离散信号和第二离散信号:

确定目标区域图像的每个像素点的灰度值,以生成灰度矩阵;

将灰度矩阵中每一列像素点的和作为纵坐标,将该列的列号作为横坐标,以生成第一离散信号;

将灰度矩阵中每一行像素点的和作为纵坐标,将该行的行号作为横坐标,以生成第二离散信号。

4.根据权利要求2所述的对准方法,其特征在于,通过以下方式确定每个波峰坐标点对应的预设数量的样本坐标点:

根据当前波峰坐标点确定出第一横坐标;

基于所述第一横坐标,按照第一预设步长确定出第二横坐标和第三横坐标,所述第二横坐标小于所述第一横坐标,所述第一横坐标小于第三横坐标;

基于所述第一横坐标,按照第二预设步长确定出第四横坐标和第五横坐标,所述第四横坐标小于所述第二横坐标,所述第三横坐标小于所述第五横坐标,所述第一预设步长小于所述第二预设步长;

分别确定出每个横坐标在当前波峰坐标点对应的离散信号上的五个样本坐标点。

5.根据权利要求2所述的对准方法,其特征在于,所述曲线方程包括第一系数和第二系数,所述根据该波峰坐标点对应的曲线方程,确定中心点坐标的步骤,具体包括:

根据该波峰坐标点对应的曲线方程的第一系数和第二系数,按照标记值计算公式计算该波峰坐标点对应的标记值;

根据所有波峰坐标点对应的标记值,生成中心点坐标。

6.根据权利要求5所述的对准方法,其特征在于,通过以下方式生成中心点坐标:

将第一离散信号的两个波峰坐标点对应的标记值之间的第一均值作为所述中心点坐标的横坐标,将第二离散信号的两个波峰坐标点对应的标记值之间的第二均值作为所述中心点坐标的纵坐标,以生成中心点坐标。

7.根据权利要求1所述的对准方法,其特征在于,通过以下方式获取图像:

生成第一图像获取信号,发送给第一图像采集芯片,以获取第一传感器捕获的所述第一图像;

以及生成第二图像获取信号,发送给第二图像采集芯片,以获取第二传感器捕获的所述第二图像。

下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。

该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于北京半导体专用设备研究所(中国电子科技集团公司第四十五研究所),未经北京半导体专用设备研究所(中国电子科技集团公司第四十五研究所)许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服

本文链接:http://www.vipzhuanli.com/pat/books/202210302912.9/1.html,转载请声明来源钻瓜专利网。

×

专利文献下载

说明:

1、专利原文基于中国国家知识产权局专利说明书;

2、支持发明专利 、实用新型专利、外观设计专利(升级中);

3、专利数据每周两次同步更新,支持Adobe PDF格式;

4、内容包括专利技术的结构示意图流程工艺图技术构造图

5、已全新升级为极速版,下载速度显著提升!欢迎使用!

请您登陆后,进行下载,点击【登陆】 【注册】

关于我们 寻求报道 投稿须知 广告合作 版权声明 网站地图 友情链接 企业标识 联系我们

钻瓜专利网在线咨询

周一至周五 9:00-18:00

咨询在线客服咨询在线客服
tel code back_top