[发明专利]一种提高ITO靶材初坯致密度的制备设备

说明书

本发明公开了一种提高ITO靶材初坯致密度的制备设备，包括上模框、第一移动支架、转动组件及升降组件；所述上模框中滑动设置有压板，所述压板与所述第一移动支架之间通过伸缩油缸连接，所述伸缩油缸的外部套设有第一弹性件；所述升降组件设置有两个分别设置在所述第一移动支架的两侧并与所述上模框之间相连接；所述转动组件设置在所述第一移动支架上，所述转动机构的两侧分别与两个所述升降组件之间传动连接；该装置通过转动组件、升降组件及真空机之间的配合，利用大气压完成进料按压，在按压材料的过程中不断提高第一移动支架的高度，经过反复的加料挤成型可将材料中气泡完全排除，并且反复的挤压可以将材料挤压的更加紧实，进而增加成型件密度。

技术领域

本发明属于注浆成型技术领域，具体涉及一种提高ITO靶材初坯致密度的制备设备。

背景技术

ITO是铟锡氧化物的英文缩写，其主要特征是它的薄膜既有很好的导电性，又有很高的透光率，现在全世界的ITO靶材用量在1000－1200吨；目前在制备ITO靶材坯的过程中存在ITO靶材坯的密度不均匀的现象，同时在注塑材料的过程中材料中容易出现气泡。

发明内容

为了解决现有技术存在的上述问题，本发明目的在于提供一种提高ITO靶材初坯致密度的制备设备。

本发明所采用的技术方案为：

一种提高ITO靶材初坯致密度的制备设备，包括上模框、第一移动支架、转动组件及升降组件；

所述上模框中滑动设置有压板，所述压板与所述第一移动支架之间通过伸缩油缸连接，所述伸缩油缸的外部套设有第一弹性件；

所述压板上安装有真空机及进料管，所述进料管上设置有电磁阀；

所述升降组件设置有两个分别设置在所述第一移动支架的两侧并与所述上模框之间相连接；

所述转动组件设置在所述第一移动支架上，所述转动组件的两侧分别与两个所述升降组件之间传动连接；所述转动组件在所述伸缩油缸中油脂回流至油箱的过程中带动升降组件转动来提高第一移动支架的高度。

优选的，还包括下模框，所述下模框与所述上模框的尺寸相同，所述下模框与上模框的两侧分别通过两个伸缩气缸连接。

优选的，所述上模框与下模框之间的闭合面之间设置有软质密封条，所述上模块与所述下模块闭合后与所述压板之间形成成型腔。

优选的，所述上模框还的两侧内部均设置有滑轨，所述第一移动支架的两侧分别滑动连接在两个的所述滑轨上，所述压板的外边缘与所述上模框之间设置有密封边框。

优选的，所述转动组件包括固定连接在所述第一移动支架上的双头气缸及滑动连接在所述第一移动支架上的第二移动支架，所述第二移动支架设置为两个，两个所述第二移动支架对称分布在第一移动支架上，所述双头气缸设置在所述第一移动支架的中部，所述双头气缸的两端分别与两个所述第二移动支架固定连接。

优选的，每个所述第二移动支架上均固定连接有转动油缸，每个所述转动油缸的转动端均固定连接有第一摩擦轮，每个所述转动油缸设置在所述伸缩油缸与所述油箱之间并通过导管与两者相连通。

优选的，所述升降组件包括转动连接在所述第一移动支架上的螺纹套筒及固定连接在所述上模框上的丝杆，所述螺纹套筒与所述丝杆之间螺纹连接，所述螺纹套筒的外部固定连接有第二摩擦轮。

优选的，所述第二摩擦轮与所述第一摩擦轮之间传动连接，所述第二摩擦轮与所述第一移动支架之间设置有扭转复位件。

优选的，所述下模框的底部设置有排水管，每个所述排水管的上均设置有单向阀，所述下模框的内部侧底部设置有滤网。

优选的，所述下模框还设置有流水槽，所述流水槽之间成网格状设置，所述排水管的位于所述流水槽的的交汇处。