[发明专利]一种提高ITO靶材初坯致密度的制备设备

权利要求书

1.一种提高ITO靶材初坯致密度的制备设备，其特征在于：包括上模框(1)、第一移动支架(10)、转动组件及升降组件；

所述上模框(1)中滑动设置有压板(5)，所述压板(5)与所述第一移动支架(10)之间通过伸缩油缸(11)连接，所述伸缩油缸(11)的外部套设有第一弹性件；

所述压板(5)上安装有真空机(9)及进料管(6)，所述进料管(6)上设置有电磁阀(7)；

所述升降组件设置有两个分别设置在所述第一移动支架(10)的两侧并与所述上模框(1)之间相连接；

所述转动组件设置在所述第一移动支架(10)上，所述转动组件的两侧分别与两个所述升降组件之间传动连接；所述转动组件在所述伸缩油缸(11)中油脂回流至油箱的过程中带动升降组件转动来提高第一移动支架(10)的高度；

所述转动组件包括固定连接在所述第一移动支架(10)上的双头气缸(13)及滑动连接在所述第一移动支架(10)上的第二移动支架(12)，所述第二移动支架(12)设置为两个，两个所述第二移动支架(12)对称分布在第一移动支架(10)上，所述双头气缸(13)设置在所述第一移动支架(10)的中部，所述双头气缸(13)的两端分别与两个所述第二移动支架(12)固定连接；

每个所述第二移动支架(12)上均固定连接有转动油缸(14)，每个所述转动油缸(14)的转动端均固定连接有第一摩擦轮(15)，每个所述转动油缸(14)设置在所述伸缩油缸(11)与所述油箱之间并通过导管与两者相连通；

所述升降组件包括转动连接在所述第一移动支架(10)上的螺纹套筒(16)及固定连接在所述上模框(1)上的丝杆(18)，所述螺纹套筒(16)与所述丝杆(18)之间螺纹连接，所述螺纹套筒(16)的外部固定连接有第二摩擦轮(17)；

所述第二摩擦轮(17)与所述第一摩擦轮(15)之间传动连接，所述第二摩擦轮(17)与所述第一移动支架(10)之间设置有扭转复位件。

2.根据权利要求1所述的一种提高ITO靶材初坯致密度的制备设备，其特征在于：还包括下模框(2)，所述下模框(2)与所述上模框(1)的尺寸相同，所述下模框(2)与上模框(1)的两侧分别通过两个伸缩气缸(3)连接。

3.根据权利要求2所述的一种提高ITO靶材初坯致密度的制备设备，其特征在于：所述上模框(1)与下模框(2)之间的闭合面之间设置有软质密封条，所述上模框(1)与所述下模框(2)闭合后与所述压板(5)之间形成成型腔。

4.根据权利要求3所述的一种提高ITO靶材初坯致密度的制备设备，其特征在于：所述上模框(1)还的两侧内部均设置有滑轨(4)，所述第一移动支架(10)的两侧分别滑动连接在两个的所述滑轨(4)上，所述压板(5)的外边缘与所述上模框(1)之间设置有密封边框(8)。

5.根据权利要求4所述的一种提高ITO靶材初坯致密度的制备设备，其特征在于：所述下模框(2)的底部设置有排水管(20)，每个所述排水管(20)的上均设置有单向阀(21)，所述下模框(2)的内部侧底部设置有滤网(19)。

6.根据权利要求5所述的一种提高ITO靶材初坯致密度的制备设备，其特征在于：所述下模框(2)还设置有流水槽，所述流水槽之间成网格状设置，所述排水管的位于所述流水槽的的交汇处。